二氧化锡薄膜的电阻气敏和光透射率气敏性能

无机材料学报

二氧化锡薄膜的电阻气敏和光透射率气敏性能

林殷茵¹; 汤庭鳌¹; 黄维宁¹; 姜国宝¹; 姚熹²

1. 上海复旦大学电子工程系微电子所, 上海 200433; 2. 西安交通大学电子材料研究所, 西安 710049

收稿日期:1999-11-19 修回日期:2000-01-05 出版日期:2000-12-20 网络出版日期:2000-12-20

Resistance Gas Sensitivity and nansmittance Gas Sensitivity of SnO₂ Thin Film by a Novel Sol-Gel Method

LIN Yin-Yin¹; TANG Ting-Ao¹; HUANG Wei-Ning¹; JIANG Guo-Ban¹; YAO Xi ²

1.Institute of Microelectronics; Department of Electronic Engineering; Fudan University; Shanghai 200433; China; 2. Electronic Materials Research Laboratory; Xi an Jiaotong University; Xi an 710049, China

Received:1999-11-19 Revised:2000-01-05 Published:2000-12-20 Online:2000-12-20

摘要/Abstract

摘要： 以无机盐为原料，采用新颖的溶胶－凝胶工艺制备了具有优良电阻－气敏性能的纳米晶二氧化锡薄膜，其在最佳工作温度２００℃对６００ｐｐｍＣＯ的灵敏度可达５００，响应时间和恢复时间分别为１３ｓ和２０ｓ．进一步研究了薄膜的光透射率－气敏性能，发现当通ＣＯ时，透射率下降，最佳工作温度与电阻－气敏性能一致，当提高薄膜的退火温度时，电阻－气敏和光透射率－气敏的灵敏度均下降．分析了产生这些现象的原因．

关键词: 薄膜, 二氧化锡, 气敏, 透射率, 溶胶-凝胶

Abstract: SnO₂ thin film with good resistance-gas sensitivity was prepared by a novel sol-gel method
using inorganic salts as starting materials. The sensitivity of the thin film to 600ppm CO was up to 500 at the optimal working temperature of
200℃, white the respondence time and recovery time were 13s and 20s respectively. The transmittance gas sensitivity was investigated
and it was found that the transmittance of the thin film decreased in CO atmosphere. The best working temperature of the transmittance gas sensitivity
is the same as that of the resistance gas sensitivity. Both resistance gas sensitivity and transimittance gas sensitivity decrease when the annealing
temperature of the thin film increases. The reason of abouve phenomenon was discussed.

Key words: thin film, SnO₂, gas sensitive, transmittance, sol-gel method

中图分类号:

O484

林殷茵,汤庭鳌,黄维宁,姜国宝,姚熹. 二氧化锡薄膜的电阻气敏和光透射率气敏性能[J]. 无机材料学报.

LIN Yin-Yin,TANG Ting-Ao,HUANG Wei-Ning,JIANG Guo-Ban,YAO Xi. Resistance Gas Sensitivity and nansmittance Gas Sensitivity of SnO₂ Thin Film by a Novel Sol-Gel Method[J]. Journal of Inorganic Materials.

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