α-Ti3O5薄膜的制备及氧敏性能的研究

无机材料学报

α-Ti₃O₅薄膜的制备及氧敏性能的研究

郑嘹赢¹; 李国荣¹; 殷庆瑞¹; 徐廷献²

1. 中国科学院上海硅酸盐研究所, 上海 200050; 2. 天津大学材料学院, 天津 300072

收稿日期:1900-01-01 修回日期:1900-01-01 出版日期:2002-11-20 网络出版日期:2002-11-20

Preparation and Oxygen Sensing Properties of α-Ti₃O₅ Thin Films

ZHENG Liao-Ying¹; LI Guo-Rong¹; XU Ting-Xian²; YIN Qing-Rui¹

1. Laboratory of functional Inorganic Materials; Shanghai Institute of Ceramics; Chinese Academy of Sciences; Shanghai 200050; China; 2. School of Materials and Engineering; Tianjin University; Tianjin 300072; China

Received:1900-01-01 Revised:1900-01-01 Published:2002-11-20 Online:2002-11-20

摘要/Abstract

摘要： α-Ti₃O₅是TiO_x材料中相对较稳定的晶型,是一种潜在的氧敏材料.与传统的TiO₂、ZrO₂材料相比,具有阻温特性好的优点.本文通过H₂还原TiO₂来制备α-Ti₃O₅薄膜,研究了不同还原温度和保温时间对薄膜晶相组成的影响以及薄膜的导电性、电阻-温度稳定性和在氧化气氛中的晶格稳定性.同时对α-Ti₃O₅薄膜的氧敏性能进行了初步研究.

关键词: Ti₃O₅, 薄膜, 还原, 氧敏

Abstract: The preparation and oxygen-sensing properties of α-Ti₃O₅ films were studied. The results of testing show that the Ti₃O₅ film with orthorhombic structure (α phase) can be obtained by reduction TiO₂ thin films in H₂atmosphere. The α-Ti₃O₅ film is stable up to 650℃ in air. It has low resistance-temperature coefficient and certain oxygen-sensing properties, but its oxygen-sensing properties need further improvement.

Key words: α-Ti₃O₅, film, reduction, oxygen sensing

中图分类号:

TB383
O484

郑嘹赢,李国荣,殷庆瑞,徐廷献. α-Ti₃O₅薄膜的制备及氧敏性能的研究[J]. 无机材料学报.

ZHENG Liao-Ying,LI Guo-Rong,XU Ting-Xian,YIN Qing-Rui. Preparation and Oxygen Sensing Properties of α-Ti₃O₅ Thin Films[J]. Journal of Inorganic Materials.

[1]	董晨雨, 郑维杰, 马一帆, 郑春艳, 温峥. 压电力显微镜表征Pb(Mg,Nb)O₃-PbTiO₃超薄膜弛豫特性[J]. 无机材料学报, 2025, 40(6): 675-682.
[2]	高晨光, 孙晓亮, 陈君, 李达鑫, 陈庆庆, 贾德昌, 周玉. 基于湿法纺丝技术的SiBCN-rGO陶瓷纤维的组织结构、力学和吸波性能[J]. 无机材料学报, 2025, 40(3): 290-296.
[3]	王悦, 王欣, 于显利. 室温铁磁性还原氧化石墨烯基全碳膜[J]. 无机材料学报, 2025, 40(3): 305-313.
[4]	陶桂龙, 支国伟, 罗添友, 欧阳佩东, 衣新燕, 李国强. 空腔型薄膜体声波滤波器的关键技术进展[J]. 无机材料学报, 2025, 40(2): 128-144.
[5]	冯关正, 杨健, 周渡, 陈啟明, 许文涛, 周有福. 水热-碳热合成AlN纳米粉体的机理[J]. 无机材料学报, 2025, 40(1): 104-110.
[6]	刘磊, 郭瑞华, 王丽, 王艳, 张国芳, 关丽丽. Pt₃Co高指数晶面氧还原过程的密度泛函理论研究[J]. 无机材料学报, 2025, 40(1): 39-46.
[7]	杨鑫, 韩春秋, 曹玥晗, 贺桢, 周莹. 金属氧化物电催化硝酸盐还原合成氨研究进展[J]. 无机材料学报, 2024, 39(9): 979-991.
[8]	潘建隆, 马官军, 宋乐美, 郇宇, 魏涛. 燃料还原法原位制备高稳定性/催化活性SOFC钴基钙钛矿阳极[J]. 无机材料学报, 2024, 39(8): 911-919.
[9]	赵志翰, 郭鹏, 魏菁, 崔丽, 刘山泽, 张文龙, 陈仁德, 汪爱英. Ti-DLC薄膜压阻性能及载流子输运行为研究[J]. 无机材料学报, 2024, 39(8): 879-886.
[10]	靳宇翔, 宋二红, 朱永福. 3d过渡金属单原子掺杂石墨烯缺陷电催化还原CO₂的第一性原理研究[J]. 无机材料学报, 2024, 39(7): 845-852.
[11]	施桐, 甘乔炜, 刘东, 张莹, 冯浩, 李强. 自支撑Bi@Cu纳米树电极高效电化学还原CO₂制甲酸[J]. 无机材料学报, 2024, 39(7): 810-818.
[12]	郑雅雯, 张翠萍, 张瑞杰, 夏乾, 茹红强. 硼酸碳热还原-渗硅反应烧结制备碳化硼陶瓷复合材料[J]. 无机材料学报, 2024, 39(6): 707-714.
[13]	张慧, 许志鹏, 朱从潭, 郭学益, 杨英. 大面积有机-无机杂化钙钛矿薄膜及其光伏应用研究进展[J]. 无机材料学报, 2024, 39(5): 457-466.
[14]	李红兰, 张俊苗, 宋二红, 杨兴林. Mo/S共掺杂的石墨烯用于合成氨: 密度泛函理论研究[J]. 无机材料学报, 2024, 39(5): 561-568.
[15]	鲍可, 李西军. 化学气相沉积法制备智能窗用热致变色VO₂薄膜的研究进展[J]. 无机材料学报, 2024, 39(3): 233-258.

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Preparation and Oxygen Sensing Properties of α-Ti₃O₅ Thin Films

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