α-Ti3O5薄膜的制备及氧敏性能的研究

无机材料学报

α-Ti₃O₅薄膜的制备及氧敏性能的研究

郑嘹赢¹; 李国荣¹; 殷庆瑞¹; 徐廷献²

1. 中国科学院上海硅酸盐研究所, 上海 200050; 2. 天津大学材料学院, 天津 300072

收稿日期:1900-01-01 修回日期:1900-01-01 出版日期:2002-11-20 网络出版日期:2002-11-20

Preparation and Oxygen Sensing Properties of α-Ti₃O₅ Thin Films

ZHENG Liao-Ying¹; LI Guo-Rong¹; XU Ting-Xian²; YIN Qing-Rui¹

1. Laboratory of functional Inorganic Materials; Shanghai Institute of Ceramics; Chinese Academy of Sciences; Shanghai 200050; China; 2. School of Materials and Engineering; Tianjin University; Tianjin 300072; China

Received:1900-01-01 Revised:1900-01-01 Published:2002-11-20 Online:2002-11-20

摘要/Abstract

摘要： α-Ti₃O₅是TiO_x材料中相对较稳定的晶型,是一种潜在的氧敏材料.与传统的TiO₂、ZrO₂材料相比,具有阻温特性好的优点.本文通过H₂还原TiO₂来制备α-Ti₃O₅薄膜,研究了不同还原温度和保温时间对薄膜晶相组成的影响以及薄膜的导电性、电阻-温度稳定性和在氧化气氛中的晶格稳定性.同时对α-Ti₃O₅薄膜的氧敏性能进行了初步研究.

关键词: Ti₃O₅, 薄膜, 还原, 氧敏

Abstract: The preparation and oxygen-sensing properties of α-Ti₃O₅ films were studied. The results of testing show that the Ti₃O₅ film with orthorhombic structure (α phase) can be obtained by reduction TiO₂ thin films in H₂atmosphere. The α-Ti₃O₅ film is stable up to 650℃ in air. It has low resistance-temperature coefficient and certain oxygen-sensing properties, but its oxygen-sensing properties need further improvement.

Key words: α-Ti₃O₅, film, reduction, oxygen sensing

中图分类号:

TB383
O484

郑嘹赢,李国荣,殷庆瑞,徐廷献. α-Ti₃O₅薄膜的制备及氧敏性能的研究[J]. 无机材料学报.

ZHENG Liao-Ying,LI Guo-Rong,XU Ting-Xian,YIN Qing-Rui. Preparation and Oxygen Sensing Properties of α-Ti₃O₅ Thin Films[J]. Journal of Inorganic Materials.

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Preparation and Oxygen Sensing Properties of α-Ti₃O₅ Thin Films

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