纳米TiO2膜的制备及电学性能研究

无机材料学报

纳米TiO₂膜的制备及电学性能研究

王浚; 高濂; 宋哲; 周伟

上海硅酸盐研究所高性能陶瓷与超微结构国家重点实验室; 上海 200050

收稿日期:1997-12-29 修回日期:1998-01-15 出版日期:1998-12-20 网络出版日期:1998-12-20

Preparation of Nano-TiO₂ Thick Film and its Electrical Properities

WANG Jun; GAO Lian; SONG Zhe; ZHOU Wei

State Key Lab of High Performance Ceramics Superfine Microstructure; Shanghai Institute ofCeramics; Chinese Academy of Sciences Shanghai 200050 China

Received:1997-12-29 Revised:1998-01-15 Published:1998-12-20 Online:1998-12-20

摘要/Abstract

摘要： 本文通过采用丝网印刷法制备了以)α－Al₂O₃基片为衬底的纳米和微米级TiO₂厚膜，气敏性测试表明，纳米TiO₂膜的电阻略高于微米TiO₂膜，在实验温度范围内，电阻随氧分压的变化率明显高于微米膜，同时还以XRD，SEM对膜材料的结构和形貌进行了表征．

关键词: 纳米TiO₂, 电阻, 气敏性, 传感器, 厚膜

Abstract: Nano-TiO₂ and micro-TiO₂ thick films were prepared on a-Al₂O₃ substrates by silk netlithograph method, the measured film resistance of nano-TiO₂ was higher than that of micro-TiO₂in experimental temperature range, nano-TiO₂ film demonstrated more change as the O₂partialpressure changed. XRD and SEM were also used to characterize the stucture of the prepared films.

Key words: nano-TiO₂, resistance, gas sensitivity, sensor, thick film

中图分类号:

TF123

王浚,高濂,宋哲,周伟. 纳米TiO₂膜的制备及电学性能研究[J]. 无机材料学报.

WANG Jun,GAO Lian,SONG Zhe,ZHOU Wei. Preparation of Nano-TiO₂ Thick Film and its Electrical Properities[J]. Journal of Inorganic Materials.

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Preparation of Nano-TiO₂ Thick Film and its Electrical Properities

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