碳化硅表面改性和光学镜面加工的研究现状

doi:10.3724/SP.J.1077.2007.00769

无机材料学报

• 研究论文 • 下一篇

碳化硅表面改性和光学镜面加工的研究现状

刘桂玲^1,2, 黄政仁¹, 刘学建¹, 董绍明¹, 江东亮¹

(1. 中国科学院上海硅酸盐研究所结构陶瓷工程中心, 上海 200050; 2. 中国科学院研究生院, 北京 100049)

收稿日期:2006-09-20 修回日期:2006-11-16 出版日期:2007-09-20 网络出版日期:2007-09-20

Recent Developments of Surface Coatings and Optical Fabrication of Silicon Carbide

LIU Gui-Ling^1,2, HUANG Zheng-Ren¹, LIU Xue-Jian¹, DONG Shao-Ming¹, JIANG Dong-Liang¹

(1. Structural Ceramics Engineering Center of Shanghai Institute of Ceramics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, China; 2. Graduate University of the Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China)

Received:2006-09-20 Revised:2006-11-16 Published:2007-09-20 Online:2007-09-20

摘要/Abstract

摘要： 为了获得满足光学应用要求的碳化硅光学镜面, 通常采取碳化硅表面改性和改进光学镜面加工的方法. 碳化硅表面改性的主要方式是在碳化硅表面镀致密化涂层. 本文介绍了在碳化硅表面化学气相沉积碳化硅和物理气相沉积硅两种碳化硅表面改性技术, 并对碳化硅光学镜面加工的研究现状进行了综述.

关键词: 碳化硅, 表面改性, 光学镜面加工

Abstract: Surface coating and exploring new fabrication methods are two kinds of ordinary processes to achieve the fine optical surface of silicon carbide. Two main coating techniques of silicon carbide-based materials, CVD SiC and PVD Si on SiC surface are introduced, and the recent developments of silicon carbide optical fabrication methods are reviewed in detail.

Key words: silicon carbide, surface coatings, optical fabrication

中图分类号:

TH751
TQ171

刘桂玲,黄政仁,刘学建,董绍明,江东亮. 碳化硅表面改性和光学镜面加工的研究现状[J]. 无机材料学报, DOI: 10.3724/SP.J.1077.2007.00769.

LIU Gui-Ling,HUANG Zheng-Ren,LIU Xue-Jian,DONG Shao-Ming,JIANG Dong-Liang. Recent Developments of Surface Coatings and Optical Fabrication of Silicon Carbide[J]. Journal of Inorganic Materials, DOI: 10.3724/SP.J.1077.2007.00769.

参考文献

[1] 王贵林, 李圣怡, 戴一帆. 机械工程材料, 2002, 26 (8): 37--38.
[2] 刘荣军, 张长瑞, 周新贵, 等. 硅酸盐学报, 2003, 31 (11): 1107--1111.
[3] 刘荣军, 周新贵, 张长瑞, 等. 宇航材料工艺, 2002, (5): 42--44.
[4] Eng R, Carpenter J R, Foss Jr C A, et al. SPIE, 2005, 5868: 58680Q-1--58680Q-8.
[5] Fisher III W F, Foss Jr C A. SPIE, 2004, 5523: 290--229.
[6] Goela J S, Pickering M A, Taylor R L, et al. SPIE, 1990, 1330: 25--38.
[7] Goela J S, Desai H D, Taylor R L, et al. SPIE, 1995, 2543: 38--48.
[8] Leviton D B, Saha T T, Gardner L D. SPIE, 1998, 3443: 19--30.
[9] 范镝, 张忠玉, 牛海燕, 等. 硅酸盐学报, 2003, 31 (11): 1096--1100.
[10] Tobin E, Magida M, Kishner S, et al. SPIE, 1995, 2543: 12--21.
[11] 刘荣军, 周新贵, 张长瑞, 等. 材料工程, 2002, (7): 46--48.
[12] 刘荣军, 张长瑞, 周新贵, 等. 材料科学与工程学报, 2004, 22 (1): 15--19.
[13] 刘荣军, 张长瑞, 周新贵, 等. 材料工程, 2005, (4): 3--6.
[14] 刘荣军, 张长瑞, 周新贵, 等(LIU Rong-Jun， et al). 无机材料学报(Journal of Inorganic Materials), 2005， 20 (2): 425--429.
[15] Liu R J, Zhang C R, Zhou X G, et al. Journal of Materials Science Letters, 2003, 22: 841--843.
[16] Zhang J H, Zhang Y M, Han J C, et al. SPIE, 2006, 6148: 61480U-1--61480U-6.
[17] 唐惠东. PVD SiC和PVD Si涂层的制备及性能研究. 中国科学院研究生院博士学位论文, 2006.
[18] Ealey M A, Wellman J A. SPIE, 1996, 2857: 78--85.
[19] Rich L, Crowe D. SPIE, 1995, 2543: 236--247.
[20] 韩杰才, 姚旺, 张宇民. 宇航材料工艺, 2005, (4): 1--6.
[21] Robichaud J, Anapol M, Gardner L, et al. SPIE, 1995, 2543: 180--184.
[22] Anapol M, Philippon R, Tucker T, et al. SPIE, 1995, 2543: 219--228.
[23] Anapol M, Glasheen R. SPIE, 1994, 2210: 373--382.
[24] Anapol M, Hadfield P. SPIE, 1992, 1693: 281--295.
[25] Magida M B, Paquin R A, Richmond J J. SPIE, 1990, 1335: 60--68.
[26] Tang H D, Huang Z R, Tan S H. SPIE, 2006, 6149: 1--6.
[27] 高宏刚, 曹健林, 朱镛, 等. 物理, 2000, 29 (10): 610--614.
[28] 徐清兰, 伍凡, 吴时彬, 等. 光电工程, 2004, 31 (9): 22.
[29] Bifano T G, Yi Y, Kahlt W K. Precision Engineering, 1994, 2 (16): 109--116.
[30] Namba Y. SPIE, 1996, 2856: 323--330.
[31] 谢会东, 王晓青, 沈光球. 人工晶体学报, 2004, 33 (6): 1035--1040.
[32] Yin L, Vancoille E Y J, Lee L C, et al. Wear, 2004, 256 (1-2): 197--207.
[33] Zhu Z Z, Muratov V, Fischer T E. Wear, 1999, 225-229: 848--856.
[34] Muratov V A, Fischer T E. Annual Review of Materials Science, 2000, 30: 27--51.
[35] Lin Y C, Kao C H. International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2005, 25 (1-2): 33--40.
[36] 张华, 王文, 庞媛媛. 光学仪器, 2003, 25 (3): 47--51.
[37] Dai Y T, Ohmori H, Watanabe Y, et al. JSME International Journal Series C, 2004, 47 (1): 66--71.
[38] Lin W, Ohmori H, Suzuki I, et al. Key Engineering Materials, 2005, 291-292: 365--370.
[39] Eto H, Dai Y T, Ebizuka N, et al. ICSO, 2004, 554: 707--710.
[40] Ebizuka N, Dai Y T, Eto H, et al. SPIE, 2003, 4842: 329--334.
[41] 陈明君, 王立松, 梁迎春, 等. 航空精密制造技术, 2001, 37 (2): 10--12, 25.
[42] 关佳亮, 袁哲俊, 张飞虎. 工艺与检测, 1998, (1): 25--26.
[43] 关佳亮, 范晋伟. 机械制造与研究, 2001, (4): 115--117.
[44] 陈杨，陈建清，陈志刚. 江苏大学学报(自然科学版), 2003, 24 (5): 55--59.
[45] Zhou L, Audurier V, Pirouz P, et al. Journal of the Electrochemical Society, 1997, 144 (6): L161--L163.
[46] Yasseen A A, Zorman C A, Mehregany M. Journal of the Electrochemical Society, 1999, 146 (1): 327--330.
[47] 李娟, 陈秀芬, 马德营, 等. 功能材料, 2006, 37 (1): 70--72.
[48] 张峰, 余景池, 张学军, 等. 光学精密工程, 1999, 7 (5): 1--8.
[49] Johnson J S, Grobsky K, Bray D J. SPIE, 2002, 4771: 243--253.
[50] 程灏波, 冯之敬, 王英伟. 哈尔滨工业大学学报, 2005, 37 (4): 433--436.
[51] 尤伟伟. 磁流变抛光的关键技术研究. 国防科学技术大学研究生院工程硕士学位论文, 2004.
[52] Murahara M. SPIE, 2002, 4679: 69--75.
[53] Hylton K W, Carnal C L, Jackson J R, et al. SPIE, 1994, 1994: 16--26.
[54] Egert C M. SPIE, 1992, 1752: 63--72.
[55] 洪义麟, 黄文浩, 付绍军, 等. 真空科学与技术, 1995, 15 (6): 429--431.

碳化硅表面改性和光学镜面加工的研究现状

Recent Developments of Surface Coatings and Optical Fabrication of Silicon Carbide

PDF (PC)

可视化

被引次数

摘要/Abstract

引用本文

使用本文

参考文献

相关文章 15

编辑推荐

Metrics

本文评价

[1]	王浩, 刘学超, 郑重, 潘秀红, 徐锦涛, 朱新锋, 陈锟, 邓伟杰, 汤美波, 郭辉, 高攀. 非本征背照触发平面型4H-SiC光导开关性能研究[J]. 无机材料学报, 2024, 39(9): 1070-1076.
[2]	王康龙, 殷杰, 陈晓, 王力, 刘学建, 黄政仁. 颗粒级配对选区激光烧结打印结合常压固相烧结制备碳化硅陶瓷性能的影响[J]. 无机材料学报, 2024, 39(7): 754-760.
[3]	蔡和庆, 韩璐, 杨松松, 薛新玉, 张扣, 孙志成, 刘儒平, 胡堃, 危岩. 小粒径Fe₃O₄-DMSA-PEI磁性纳米颗粒的制备及其基因负载能力研究[J]. 无机材料学报, 2024, 39(5): 517-524.
[4]	孙川, 何鹏飞, 胡振峰, 王荣, 邢悦, 张志彬, 李竞龙, 万春磊, 梁秀兵. 含有石墨烯阵列的SiC基陶瓷材料的制备与力学性能[J]. 无机材料学报, 2024, 39(3): 267-273.
[5]	徐昊, 钱伟, 花银群, 叶云霞, 戴峰泽, 蔡杰. 皮秒激光加工的微织构对碳化硅润湿性的影响[J]. 无机材料学报, 2023, 38(8): 923-930.
[6]	陈强, 白书欣, 叶益聪. 热管理用高导热碳化硅陶瓷基复合材料研究进展[J]. 无机材料学报, 2023, 38(6): 634-646.
[7]	顾薛苏, 殷杰, 王康龙, 崔崇, 梅辉, 陈忠明, 刘学建, 黄政仁. 颗粒级配对黏结剂喷射打印碳化硅陶瓷性能的影响[J]. 无机材料学报, 2023, 38(12): 1373-1378.
[8]	吴松泽, 周洋, 李润丰, 刘晓倩, 李翠伟, 黄振莺. 铁尾矿及其反应烧结多孔陶瓷的制备与性能研究[J]. 无机材料学报, 2023, 38(10): 1193-1199.
[9]	欧阳琴, 王艳菲, 徐剑, 李寅生, 裴学良, 莫高明, 李勉, 李朋, 周小兵, 葛芳芳, 张崇宏, 何流, 杨磊, 黄政仁, 柴之芳, 詹文龙, 黄庆. 核用碳化硅纤维增强碳化硅复合材料研究进展[J]. 无机材料学报, 2022, 37(8): 821-840.
[10]	阮景, 杨金山, 闫静怡, 游潇, 王萌萌, 胡建宝, 张翔宇, 丁玉生, 董绍明. 三维碳化硅纳米线增强碳化硅陶瓷基复合材料的电磁屏蔽性能[J]. 无机材料学报, 2022, 37(5): 579-584.
[11]	阮景, 杨金山, 闫静怡, 游潇, 王萌萌, 胡建宝, 张翔宇, 丁玉生, 董绍明. 碳化硅纳米线增强多孔碳化硅陶瓷基复合材料的制备[J]. 无机材料学报, 2022, 37(4): 459-466.
[12]	周港怀, 刘耀, 石原, 刘绍军. 活性氧化铝催化剂载体的光固化浆料制备与成型[J]. 无机材料学报, 2022, 37(3): 297-302.
[13]	李陇彬, 薛玉冬, 胡建宝, 杨金山, 张翔宇, 董绍明. 碳化硅纳米线增韧碳化硅纤维/碳化硅基体损伤行为研究[J]. 无机材料学报, 2021, 36(10): 1111-1117.
[14]	董少杰,王旭东,沈国芳,王晓虹,林开利. 生物陶瓷支架的功能改性及应用研究进展[J]. 无机材料学报, 2020, 35(8): 867-881.
[15]	罗清,苑青,蒋前勤,于乃森. Cu-SSZ-13/碳化硅废料复合材料的合成及其 NH₃-SCR性能研究[J]. 无机材料学报, 2019, 34(9): 953-960.