不锈钢基底上离子源辅助激光制备CeO2薄膜及其结构分析

无机材料学报

不锈钢基底上离子源辅助激光制备CeO₂薄膜及其结构分析

黄新堂^1,2; 王又青¹; 陈清明¹; 徐启阳¹

1. 华中理工大学激光技术国家重点实验室; 武汉 430074; 2. 华中师范大学物理系; 武汉 430079

收稿日期:1999-05-24 修回日期:1999-07-22 出版日期:2000-06-20 网络出版日期:2000-06-20

Preparation and Structure Characterization of CeO₂ Films on the Stainless Steel Substrates Deposited by Laser Ablation with Ar⁺ Ion Beam Assistance

HUANG Xin-Tang^1,2; WANG You-Qing¹; CHEN QingMing¹; XU Qi-Yang¹

1.The State Key Lab. of Laser Technology; Huazhong University of Science and Technology; Wuhan 30074; China; 2. Department of Physics; Central China Normal University; Wuhan 430079; China

Received:1999-05-24 Revised:1999-07-22 Published:2000-06-20 Online:2000-06-20

摘要/Abstract

摘要： 室温下在不锈钢基底上应用Ar⁺离子源辅助，准分子脉冲激光沉积了CeO₂薄膜．研究结果表明：在合适的工艺条件下，直接在不锈钢基底上可以制备出c轴取向的CeO₂薄膜，但这时的CeO₂薄膜在其a－b平面内没有观察到织构的信息；进一步在相同的条件下，首先在不锈钢基底上制备一层YSZ（Yttria－StabilizedZirconia），再在YSZ／不锈钢上制备CeO₂薄膜，实验结果显示出这时的CeO₂薄膜不但是c轴取向，同时在其a－b平面内织构．CeO₂（202）射线φ扫描图给出其全宽半峰值为20°

关键词: 脉冲激光, CeO₂薄膜, 不锈钢基底, 离子源辅助

Abstract: CeO₂ films were deposited by pulsed laser ablation on stainless steel substrates at room temperature
with the Ar⁺ ion beam assistance. The results show that when the CeO₂ films are deposited directly on the stainless steel substrates,
the desired (001)-normal textured films achieved, but there is no evidence for alignment of in-plane crystal axes. Further experimental results
indicate that CeO₂/YSZ(Yttria-Stabilized Zirconia)/stainless steel films deposited under the same conditions are not only normal
orientation to the substrate’s surface, but also highly in-plane textured.

Key words: pulsed Laser, CeO₂ Film, stainless steel substrate, ion beam assistance

中图分类号:

O484

黄新堂,王又青,陈清明,徐启阳. 不锈钢基底上离子源辅助激光制备CeO₂薄膜及其结构分析[J]. 无机材料学报.

HUANG Xin-Tang,WANG You-Qing,CHEN QingMing,XU Qi-Yang. Preparation and Structure Characterization of CeO₂ Films on the Stainless Steel Substrates Deposited by Laser Ablation with Ar⁺ Ion Beam Assistance[J]. Journal of Inorganic Materials.

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