激活温度对C-H体系低压金刚石生长条件的影响

无机材料学报

激活温度对C-H体系低压金刚石生长条件的影响

刘志杰; 张卫; 万永中; 王季陶

复旦大学电子工程系CVD研究室; 上海200433

收稿日期:1997-06-06 修回日期:1997-06-19 出版日期:1998-06-20 网络出版日期:1998-06-20

C-H System Low-Pressure Diamond Growth Condition influenced by Activation Temperature

LIU Zhi-Jie; ZHANG Wei; WAN Yong-Zhong; WANG Ji-Tao

Dept. of Electronic Engineering; CVD Lab.; Fudan University Shanghai 200433 China

Received:1997-06-06 Revised:1997-06-19 Published:1998-06-20 Online:1998-06-20

摘要/Abstract

摘要： 本文根据非平衡热力学耦合模型计算了不同激活温度下的金刚石生长相图，研究了不同激活温度下金刚石生长区的变化．激活温度升高，金刚石生长区变大，有利于生长金刚石．对干不同的衬底温度，随激活温度的升高，金刚石生长区的变化也有所不同．

关键词: 激活温度, 金刚石, C－H体系, 相图

Abstract: Diamond growth phase diagrams were calculated under different activation temperaturesbased on non-equilibrium thermodynamic coupling model. The diamond growth regions are enlarged with the increase of activation temperature. As to different substrate temperatures, thediamond growth regions exhibit different tendency with activation temperature rising.

Key words: activation temperautre, diamond, C-H system, phase diagram

中图分类号:

TQ163

刘志杰,张卫,万永中,王季陶. 激活温度对C-H体系低压金刚石生长条件的影响[J]. 无机材料学报.

LIU Zhi-Jie,ZHANG Wei,WAN Yong-Zhong,WANG Ji-Tao. C-H System Low-Pressure Diamond Growth Condition influenced by Activation Temperature[J]. Journal of Inorganic Materials.

[1]	赵志翰, 郭鹏, 魏菁, 崔丽, 刘山泽, 张文龙, 陈仁德, 汪爱英. Ti-DLC薄膜压阻性能及载流子输运行为研究[J]. 无机材料学报, 2024, 39(8): 879-886.
[2]	王伟华, 张磊宁, 丁峰, 代兵, 韩杰才, 朱嘉琦, 贾怡, 杨宇. 铱衬底上金刚石外延形核与生长: 第一性原理计算[J]. 无机材料学报, 2024, 39(4): 416-422.
[3]	杨志亮, 杨鏊, 刘鹏, 陈良贤, 安康, 魏俊俊, 刘金龙, 吴立枢, 李成明. 热管理用3英寸硅衬底金刚石薄膜的制备[J]. 无机材料学报, 2024, 39(3): 283-290.
[4]	李一村, 刘雪冬, 郝晓斌, 代兵, 吕继磊, 朱嘉琦. 等离子体聚集装置下的高能量密度单晶金刚石快速生长研究[J]. 无机材料学报, 2023, 38(3): 303-309.
[5]	李一村, 郝晓斌, 代兵, 文东岳, 朱嘉琦, 耿方娟, 乐卫平, 林伟群. 基于等离子体诊断的MPCVD单晶金刚石生长优化设计[J]. 无机材料学报, 2023, 38(12): 1405-1412.
[6]	产思义, 屠菊萍, 黄珂, 邵思武, 杨志亮, 刘鹏, 刘金龙, 陈良贤, 魏俊俊, 安康, 郑宇亭, 李成明. 2英寸MPCVD光学级均匀金刚石膜的制备研究[J]. 无机材料学报, 2023, 38(12): 1413-1419.
[7]	姜红梅, 赵文雅, 付瑞净, 肖冠军. 魔力尺寸硒化镉纳米晶的压力稳定性研究[J]. 无机材料学报, 2021, 36(5): 502-506.
[8]	陈雷雷, 邓子旋, 李勉, 李朋, 常可可, 黄峰, 都时禹, 黄庆. 新型MAX相的相图热力学研究[J]. 无机材料学报, 2020, 35(1): 35-40.
[9]	黄烨琰, 徐凯, 吴波, 李朋, 常可可, 黄峰, 黄庆. 亚稳相图研究及其在特种陶瓷涂层中的应用进展[J]. 无机材料学报, 2020, 35(1): 19-28.
[10]	王杨, 朱嘉琦, 扈忠波, 代兵. 铱衬底上异质外延单晶金刚石: 过程与机理[J]. 无机材料学报, 2019, 34(9): 909-917.
[11]	周一鸣, 周玉玲, 庞前涛, 邵建伟, 赵立东. Ag掺杂Cu₂SnSe₃致相反热电性能及其复合提升[J]. 无机材料学报, 2019, 34(3): 301-309.
[12]	严世胜, 彭鸿雁, 赵志斌, 潘孟美, 羊大立, 阿金华, 叶国林, 王崇太, 郭心玮. 掺氮金刚石电极性能及其氧化降解硝基苯研究[J]. 无机材料学报, 2018, 33(5): 565-569.
[13]	顾辉. 晶界非晶结构对Sialon陶瓷多层次相关系的调控: 回顾与展望[J]. 无机材料学报, 2018, 33(2): 147-152.
[14]	武晓玮, 李佳艳, 谭毅. 金刚石线锯切割多晶硅片表面制绒工艺研[J]. 无机材料学报, 2017, 32(9): 985-990.
[15]	董亮, 王艳辉, 臧建兵. 金刚石基燃料电池催化剂的研究进展[J]. 无机材料学报, 2017, 32(7): 673-680.