C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图计算

无机材料学报

C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图计算

刘志杰; 张卫; 万永中; 王季陶

复旦大学电子工程系CVD研究室; 上海200433

收稿日期:1997-07-14 修回日期:1997-08-18 出版日期:1998-08-10 网络出版日期:1998-08-10

Calculation of Phase Diagram for Diamond Growth in C-H-Cl System

LIU Zhi-Jie; ZHANG Wei; WAN YOng-Zhong; WANG Ji-TaO

Department of Electronic Engineering; addal University Shanghai 200433 China

Received:1997-07-14 Revised:1997-08-18 Published:1998-08-10 Online:1998-08-10

摘要/Abstract

摘要： 用非平衡热力学耦合模型计算得到了C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图，并与报道的实验结果符合很好．比起C-H体系生长金刚石的相图，该相图中的金刚石生长区明显移向低温方向，说明加入氯有利于降低金刚石的生长温度．通过化学反应机理的分析探讨了加入氯对金刚石生长温度和生长速率的影响．

关键词: C-H-Cl体系, 金刚石, 相图

Abstract: According to the non-equilibrium thermodynamic coupling model, a phase diagram for diamond growth in C-H-Cl system was calculated. A diamond growth region which is in
good agreement with many reported experiments exists in the calculated phase diagram. Compared to the diamond growth region in the phase diagram of diamond growth in
C-H system, the diamond growth region presented here moves toward the end of low substrate temperature. The effect of chlorine addition on diamond growth
in the vapor phase was also discussed according to the reaction mechanism.

Key words: C-H-Cl system, diamond, phase diagram

中图分类号:

TQ163

刘志杰,张卫,万永中,王季陶. C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图计算[J]. 无机材料学报.

LIU Zhi-Jie,ZHANG Wei,WAN YOng-Zhong,WANG Ji-TaO. Calculation of Phase Diagram for Diamond Growth in C-H-Cl System[J]. Journal of Inorganic Materials.

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