MOD法制备的Bi3.25Nd0.75Ti3O12薄膜的铁电各向异性行为

无机材料学报

MOD法制备的Bi_3.25Nd_0.75Ti₃O₁₂薄膜的铁电各向异性行为

马建华; 孟祥建; 孙璟兰; 褚君浩

中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室, 上海 200083

收稿日期:2004-02-20 修回日期:2004-04-06 出版日期:2005-03-20 网络出版日期:2005-03-20

Anisotropic Ferroelectric Properties of MOD-derived Bi_3.25Nd_0.75Ti₃O₁₂ Thin Films

MA Jian-Hua; MENG Xiang-Jian; SUN Jing-Lan; CHU Jun-Hao

National Laboratory for Infrared Physics; Shanghai Institute of Technical Physics; Chinese Academy of Sciences; Shanghai 200083; China

Received:2004-02-20 Revised:2004-04-06 Published:2005-03-20 Online:2005-03-20

摘要/Abstract

摘要： 采用金属有机分解法(MOD)在(111)Pt／Ti／SiO₂／Si衬底上制备了含(117)成分的 c轴择优取向和a轴择优取向的Bi_3.25Nd_0.75Ti₃O₁₂(BNT)薄膜.实验发现, BNT薄膜的晶型结构主要依赖于预退火条件.电学性能测试表明,a轴择优取向的BNT薄膜具有高的剩余极化和矫顽场,较高的介电常数和介电损耗,以及较大的电容调谐率;而c轴择优取向的则相反. BNT薄膜具有同Bi₄Ti₃O₁₂(BIT)薄膜相似的铁电各向异性行为.

关键词: BNT薄膜, 晶型结构, 铁电性能, 各向异性

Abstract: The c-axis and a-axis preferential-oriented Bi_3.25Nd_0.75Ti₃O₁₂ (BNT) thin films together with (117)-orientation were deposited on (111)Pt/Ti/SiO₂/Si substrates by a metalorganic decomposition (MOD) method. The results show that the crystallinity of BNT thin films mainly depends on the pre-annealing conditions. BNT thin films with a-axis preferential orientation show high remnant polarization, high coercive field, high dielectric constant, high dissipation factor, and large capacitance tuning, while those with c-axis preferential orientation are on the contrary. The anisotropic ferroelectric properties of BNT thin films are similar to those of Bi₄Ti₃O₁₂ (BIT).

Key words: BNT thin films, crystallinity, ferroelectricity, anisotropy

中图分类号:

TB43

马建华,孟祥建,孙璟兰,褚君浩. MOD法制备的Bi_3.25Nd_0.75Ti₃O₁₂薄膜的铁电各向异性行为[J]. 无机材料学报.

MA Jian-Hua,MENG Xiang-Jian,SUN Jing-Lan,CHU Jun-Hao. Anisotropic Ferroelectric Properties of MOD-derived Bi_3.25Nd_0.75Ti₃O₁₂ Thin Films[J]. Journal of Inorganic Materials.

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MOD法制备的Bi_3.25Nd_0.75Ti₃O₁₂薄膜的铁电各向异性行为

Anisotropic Ferroelectric Properties of MOD-derived Bi_3.25Nd_0.75Ti₃O₁₂ Thin Films

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