Sol-Gel法制备B2O3-P2O5-SiO2系低介玻璃陶瓷

无机材料学报

Sol-Gel法制备B₂O₃-P₂O₅-SiO₂系低介玻璃陶瓷

李勃; 周济; 岳振星; 马振伟; 桂治轮; 李龙土

清华大学材料系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室, 北京 100084

收稿日期:1999-12-13 修回日期:2000-01-28 出版日期:2000-12-20 网络出版日期:2000-12-20

Preparation of B₂O₃-P₂O₅-SiO₂ Glass-Ceramics by the Sol-Gel Method

LI Bo; ZHOU Ji; YUE Zhen-Xing; MA Zhen-Wei; GUI Zhi-Lun; LI Long-Tu

State Key Lab of New Ceramics and Fine Processing; Dept. of Materials Science and Engineering; Tsinghua University; Beijing 100084; China

Received:1999-12-13 Revised:2000-01-28 Published:2000-12-20 Online:2000-12-20

摘要/Abstract

摘要： 采用溶胶－凝胶法，以正硅酸乙酯和硼酸、磷酸为原料，制备出一种ＢＰＳ超细粉．使用这种超细粉，可在低于９５０℃空气气氛中烧结，获得性能优良的低分电常数、低损耗玻璃陶瓷．该种材料的介电常数ε≤５、介电损耗ｔａｎδ＜３×１０^－３（１ＭＨｚ），有望用于超高频叠层片式电感领域．

关键词: 溶胶-凝胶法, 玻璃陶瓷, 低介电常数, 片式电感

Abstract: A sol-gel process was used to synthesize borophosphosilicate ultrafine powders by using boric acid, phosphoric acid and TEOS as starting precursors. The powder can be sintered at 900℃ in air. The dielectric properties of the sintered glass-ceramics were measured. The results show that the sintered glass-ceramics possess dielectric constants less than 5 and dielectric loss less than 3×10^-3 at the frequency of 1MHz. The glass-ceramics are potential for using as dielectric materials in a super high frequency multi-layer chip inductor field.

Key words: sol-gel method, ultrafine powder, glass-ceramics, low dielectric, multi-layer chip induc

中图分类号:

TB383

李勃,周济,岳振星,马振伟,桂治轮,李龙土. Sol-Gel法制备B₂O₃-P₂O₅-SiO₂系低介玻璃陶瓷[J]. 无机材料学报.

LI Bo,ZHOU Ji,YUE Zhen-Xing,MA Zhen-Wei,GUI Zhi-Lun,LI Long-Tu. Preparation of B₂O₃-P₂O₅-SiO₂ Glass-Ceramics by the Sol-Gel Method[J]. Journal of Inorganic Materials.

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