氧气-乙炔火焰法在Al2O3陶瓷上沉积金刚石薄膜

无机材料学报

氧气-乙炔火焰法在Al₂O₃陶瓷上沉积金刚石薄膜

文黎星; 夏义本; 莫要武; 居建华; 黄晓琴; 王鸿

上海大学材料科学与工程学院无机材料系; 上海201800

收稿日期:1996-08-05 修回日期:1996-09-19 出版日期:1997-08-20 网络出版日期:1997-08-20

Deposition of Diamond Films on Alumina Ceramics by Oxygen-Acetylene Flame

WEN Lixing; XIA Yiben; MO Yaowu; JU Jianhua; HUANG Xiaoqin; WANG Hong

School of Materials Science Engineering; Shanghai University Shanghai 201800 China

Received:1996-08-05 Revised:1996-09-19 Published:1997-08-20 Online:1997-08-20

摘要/Abstract

摘要： 用氧气-乙炔火焰法在氧化铝陶瓷片上沉积出了金刚石薄膜，并观察了薄膜的形貌结构及其在基片上的分布规律．对基片进行适当的预处理，可以提高金刚石薄膜在基片上的成核密度．认为氧化铝陶瓷片与沉积金刚石薄膜之间易形成过渡层，初步探讨了在氧化铝陶瓷片上沉积金刚石薄膜的机理．

关键词: 氧化铝陶瓷, 金刚石薄膜, 氧气-乙炔火焰

Abstract: Dianmond films were deposited on Al2O3 ceramic substrates by oxygen-acetylene flame, the morphologics and their distribution of deposited films on the substrate surfaces were also observed.Proper pretreatment of substrates can increase the density of diamond nuclei. An intermediate eas-ily be formed betweem Al₂O₃ ceramics and deposited diamond filmes. The mechanism of depositing diamond films on Al₂O₃ ceramics was preliminary analyzed.

Key words: Al₂O₃ ceramics, diamond film, oxygen-acetylene flame

文黎星,夏义本,莫要武,居建华,黄晓琴,王鸿. 氧气-乙炔火焰法在Al₂O₃陶瓷上沉积金刚石薄膜[J]. 无机材料学报.

WEN Lixing,XIA Yiben,MO Yaowu,JU Jianhua,HUANG Xiaoqin,WANG Hong. Deposition of Diamond Films on Alumina Ceramics by Oxygen-Acetylene Flame[J]. Journal of Inorganic Materials.

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