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新型非线性光学晶体Ca4RO(BO3)3的研究进展
罗军,钟真武,范世Ji,王锦昌
2000 Vol. 15 (1): 18
摘要(
1908 )
PDF(323KB)(
1021
)
作为新型非线性光学材料,钙-稀土硼酸盐晶体Ca4RO(BO3)3(R-La3+、Nd3+、Sm3+Gd3+Y3+Er3+、Tb3+、Lu3+)近来引起了广泛的重视.该系列晶体属非中心对称的单斜晶系,空间群Cm.本文综述了上述晶体的结构和生长研究的进展。总结了晶体的线性光学/非线性光学性能以及掺杂晶体的激光自倍频性能,指出这些晶体在非线性光学领域潜在的应用前景.
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纳米材料制备研究的若干新进展
倪永红,葛学武,徐相凌,陈家富,张志成
2000 Vol. 15 (1): 915
摘要(
2766 )
PDF(365KB)(
3592
)
综述了纳米材料领域在纳米金属(或合金)粉末、纳米管和纳米纤维(纳米棒)、纳米材料的自组装、纳米半导体材料以及纳米复合材料等制备方面的最新进展,并对一些新方法相对于一般纳米材料制备方法的优点进行了比较.
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醇-水溶液加热法制备纳米ZrO2粉体及相关过程的研究
李蔚,高濂,郭景坤
2000 Vol. 15 (1): 1620
摘要(
1973 )
PDF(286KB)(
1021
)
分析了醇-水溶液加热法制备纳米ZrO2(3Y)粉体的过程及加热温度、时间对反应过程及最后所得粉体的影响.研究结果表明:该法制备纳米ZrO2粉体过程中发生了一系列化学反应,这些反应使Y2O3前趋体在ZrO2前驱体中均匀分布,Y2O2在粉体煅烧期间逐渐渗透到ZrO2颗粒中使之转变为四方相.只有当加热的温度足够高使得溶液的介电常数<25时,沉淀才可能发生.加热时间必须足够长,使反应完全.过短的加热时间致使沉淀不够完全时,容易产生团聚.
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四氯化钛水解法制备纳米氧化钛超细粉体
张青红,高濂,郭景坤
2000 Vol. 15 (1): 2125
摘要(
2261 )
PDF(437KB)(
1298
)
研究了改变溶液的酸碱度来控制TiCl4水解,制备锐钛矿相超细TiO2纳米粉体的过程.采用XRD、TEM、SAED和TG—DTA等方法对所得粉体进行了表征,发现水解后的沉淀经真空干燥后,不用任何热处理,室温下即有锐钛矿相存在,其原始粒径约为3.8nm,粉体于400℃煅烧2h,可得到平均粒径为7um的纯锐钛矿相纳米氧化钛粉体.
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流态化CVD包硅的Fe3O4的氧化行为
朱以华,吴秋芳,李春忠
2000 Vol. 15 (1): 2632
摘要(
1979 )
PDF(422KB)(
886
)
采用流态化CVD包硅技术制得了表面均匀包覆SiO2的Fe3O4磁粉.对该包硅Fe3O4磁粉的氧化机理和动力学进行了研究.结果表明,氧化反应机理符合三维球对称扩散模型,氧化反应活化能随包硅量的增加而增加,流态化CVD包硅能提高Fe3O4磁粉的抗氧化作用在于粒子表面形成了均匀的SiO2保护层.
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Li2MnO3的柠檬酸盐溶胶-凝胶法合成及离子导电性
宋秀芹,马建峰,陈汝芬
2000 Vol. 15 (1): 3337
摘要(
1971 )
PDF(273KB)(
1066
)
以Li2CO3、MnCO3为原料,用柠檬酸盐溶胶凝胶法合成了Li2MnO3超微粉.对合成的材料进行了DTA、TG、XRD和TEM等表征,并应用交流阻抗谱技术测定了样品的电导率.结果表明,650。C以上生成Li2MnO3纯相超微粉,粒径在50nm以下.在18~400℃温度范围内,产物烧结体的离子导电率为10-6~10-3S·cm-1,其电导活化能为44.87kJ·mol-1.
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三嵌段共聚物合成SiO2中孔材料的制备化学
孙继红,范文浩,章斌,吴东,孙予罕,杨年华,周建伟,岳勇
2000 Vol. 15 (1): 3844
摘要(
1863 )
PDF(434KB)(
823
)
采用溶胶一凝胶法,以正硅酸乙酯(TEOS)为前驱体,添加聚氧乙烯醚(PEO)一聚氧丙烯醚(PPO)一聚氧乙烯醚(PEO)共聚物为模板剂制备结构可控的SiO2中孔材料,通过BET、TG/DTA、FT-IR、29SiNMR等分析手段,考察了不同条件下溶胶一凝胶制备化学及其热处理对SiO2中孔材料结构性质的影响规律和内在本质.结果表明:通过调节聚合度和添加量以及溶胶老化时间,可以对SiO2中孔材料织构性质进行有效的调控;同时由于该共聚物在不同气氛温度下的脱除机理不同,从而对材料的结构性质影响也有所不同;经真空热处理后,SiO2中孔材料柔性骨架得到加强,孔分布更趋集中.
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纳米TiO2的高分子锚定位包覆
王世兴,王命泰,雷勇,李广海,张立德
2000 Vol. 15 (1): 4549
摘要(
2061 )
PDF(389KB)(
740
)
通过多组分溶液的原位合成方法,成功地制备了TiO2/聚苯乙烯-马来酸酐(PSMA)纳米复合材料.红外普图(IR)分析了这种材料的化学构成,证明纳米TiO2与高分子是以共价键的形式存在.随着反应条件的改变,透射电镜(TEM)观察到了纳米TiO2在复合物中有规律的形貌变化.综合实验结果,提出高分子“锚定位”包覆的作用模型,形象地说明了这种材料以三维网络、纳米晶TiO2微相分离的形式存在,同时TiO2颗粒的团聚几率在相当大程度上得以降低.结合X射线衍射,还确定出了复合物中纳米TiO2的锐钛矿型结构.
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β-Si3N4粉末烧结及其显微结构形成
徐鑫,黄莉萍,符锡仁
2000 Vol. 15 (1): 5054
摘要(
2042 )
PDF(534KB)(
807
)
由β-Si3N4粉末通过一定的工艺条件得到致密的氨化硅陶瓷,试样的显微结构为短柱状和等轴状颗粒交织排列而成的均匀结构.材料的烧结过程分为重排、晶形转变、晶粒生长三个阶段,随烧结时间增加,烧结试样的显微结构开始阶段变化很明显,2h后结构比较稳定.温度升高有利于柱状颗粒长径比的提高,添加剂量的增加使显微结构粗化.
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低表面活性剂/硅比率中有序介孔材料的合成
禹剑,王连洲,施剑林,阮美玲,严东生
2000 Vol. 15 (1): 5561
摘要(
1936 )
PDF(487KB)(
909
)
以AlCl3.6H2O为铝源,在低表面活性剂/硅摩尔比(0.12)的体系中,合成Si/Al比在16~64范围内变化的有序介孔硅酸铝材料.用XRD、TEM、FTIR及氮吸附等测试手段对材料进行了分析.当NaOH/Si比从0.2增加到0.6时,获得的有序介孔材料结构将由六角相(MCM-41)变成立方相(MCM-48)当材料中铝含量超过一定值时,有序介孔材料品质下降.XRD分析表明,用铝原子取代硅原子将导致晶格增大.
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Si3N4原料对形成长颗粒Ca-α-Sialon晶粒形貌的影响
李雅文,王佩玲,严东生,程一兵
2000 Vol. 15 (1): 6266
摘要(
1911 )
PDF(328KB)(
799
)
针对固定组份的Ca-α-Sialon系统Ca1.8Si6.6Al5.4O1.8N14.2),选用不同α/β比值的Si3N4原料考察了无压烧结所得材料的致密化、反应过程及显微结构的异同.结果表明,由两种不同α/β比值的Si3N4原料制备的材料,其α-Sialon晶粒均具有长颗粒的形貌.但高β相含量的Si3N4原料会阻碍Ca-α-Sialon材料的致密化,β-Si3N4相完全消失的温度也比α-Si3N4提高了100℃.原料中β相含量废越高,提供给α-Sialon生长的核心数越少,α-Sialon晶粒越粗大,而且高β相Si3N4原料中宽的粒径分布导致所得α-Sialon晶粒尺寸的不均匀.
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复合添加(Ca,Mg)-α-Sialon的晶胞参数研究
王佩玲,贾迎新,张骋,孙维莹
2000 Vol. 15 (1): 6772
摘要(
1888 )
PDF(348KB)(
882
)
利用高分辨率的Guinier-Hagg相机和计算机控制的底片扫描及数据处理程序系统,测定了复合添加,组份为(Ca0.5Mg0.5)xSi12-3xAl3xOxN16-x(x=0.3、0.6、1.0和1.4)的α-Soalon的晶胞参数.材料由热压工艺制备而得.研究结果表明,当x≥1.0时,材料的主晶相为α-Sialon和含Mg的AlN多型体.(Ca,Mg)-α-Sialon的晶胞参数明显低于相同组份下的Ca-α-Sialon的晶胞参数·EDAX的结果进一步给出固溶进入α-Sialon的包括名义组份中90%的Ca++和少量的Mg++,而大部分Mg++进入AlN多型体,这一结果为净化α-Sialon陶瓷的晶界提供了新的有效途径.
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一种新的MoSi2基复合材料显微结构及其对力学性能的影响
李建林,江东亮,谭寿洪
2000 Vol. 15 (1): 7378
摘要(
1817 )
PDF(616KB)(
810
)
本文研究了原位生成的TiC/TiB2/MoSi2三相复合材料的一种新的显微结构及其对力学性能的影响,结果表明,当热压金属Ti,B4C和MoSi2的混合粉末时,在MoSi2的基体内生成由TiC和TiB2组成的空心粒子.其中的TiC和TiB2粒子均为纳米粒子.具有此新显微结构的复合材料,强度达到480MPa,断裂韧性为5.2MPa·m1/2,较单相MoSi2材料的力学性能有大幅度提高.
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膨胀石墨CuCl2-EGICs的微观结构TEM研究
传秀云
2000 Vol. 15 (1): 7987
摘要(
1838 )
PDF(737KB)(
991
)
采用透射电镜研究了以膨胀石墨为主体材料合成的CuCl2-EGICs微观结构,包括垂直和平行石墨碳原子层的层间结构、层面结构.根据X射线衍射参数计算获得2、3、4阶CuCl2-EGICs的层间距Ic值,与理论计算值近似.选区电子衍射获得面内结构参数.发现EGICs衍射斑点是由石墨碳原子层单斑点和氯化物层多斑点簇组两套相迭而成.EGICs层面内碳原子层原子排布保持了石墨六角网格状的特点;氯化钢分子相对碳原子层分布有三种堆垛方式.倒易点分析认为有(2x2)R(30°)、(71/2x71/2)R(0°)、(31/2x31/2)R(0°)三种超晶格结构.二阶、三阶CuCl2-GIC中氯化铜点阵与碳原子点阵之间存在30°的偏转角,而在一阶CuCl2-GIC中偏转角等于零度.根据高分辨电镜(HREM)、选区电子衍射(SAD)、能谱微区成分、光电子能潜(XPS-ESCA)和俄歇电子能谱(XAES)等结果,探讨和分析了CuCl2-EGICs微观结构.
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光催化自清洁陶瓷的制备及其特性
刘平,王心晨,付贤智
2000 Vol. 15 (1): 8892
摘要(
2120 )
PDF(344KB)(
1379
)
制备了表面镀有光催化剂薄膜的自清洁陶瓷,并利用XRD、AES和原位光催化反应方法等研究了其光催化降解油酸和灭菌的特性,考察了热处理条件和膜厚度等光催化膜制备与反应条件对自清洁陶瓷光催化活性的影响.研究结果表明,灭菌效果和油酸光降解速度取决于负载光催化膜的晶相组成、晶粒大小及其比表面积.
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热分解氧化反应对TiO2电容压敏电阻器性能的影响
罗建军,方湘怡,武明堂
2000 Vol. 15 (1): 9396
摘要(
2049 )
PDF(156KB)(
796
)
研究了具有热分解氧化反应的CuO、MnO2等的一类氧化物对TiO2压敏电阻器性能的影响,采用C—V分析、I—V测量和介电测量等实验手段,分析了它们的作用机理.结果发现,在晶界处发生的热分解氧化反应能增加界面态密度,提高晶界势垒高度,从而改善TiO2电容压敏电阻器的非线性性能.
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PBLZT弛豫铁电陶瓷的动态及偏压介电和压电特性
伍建新,庄志强
2000 Vol. 15 (1): 97102
摘要(
2124 )
PDF(243KB)(
962
)
测量了3mol%Ba掺杂的PLZT10/65/35弛豫铁电陶瓷的电滞回线、横向场诱应变、偏压下的介电常数和压电常数,并根据电滞回线和场诱应变曲线的斜率计算了动态介电常数和压电常数.实验表明,电场<8kV/cm时,动态介电常数比偏压介电常数大很多,电场>8kV/cm时,差值随电场增大而减小;电场在3~15kV/cm之间时,动态压电常数比偏压压电常数大很多,电场<3kV/cm及>15kV/cm时,动态压电常数和偏压压电常数相差不大.
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铋掺杂铌镁酸铅陶瓷的制备及其有序现象研究
赵常雷,冯楚德
2000 Vol. 15 (1): 103108
摘要(
2089 )
PDF(399KB)(
800
)
采用二步固相合成法制备钙钛矿相的掺铋铌镁酸铅陶瓷,利用XRD和TEM选区电子衍射技术对B位离子非计量有序排列结构进行了表征.研究表明,当为施主掺杂而提高Mg2+、Nb5+离子比例时,铌酸镁前驱体中逐渐出现六方Mg4Nb9O6相.施主Bi3+离子能够有效促进有序微区长大,提高系统有序度.利用X射线衍射线宽法对XRD慢扫描谱进行处理,求得当掺入5%Bi3+离子时,有序微区平均尺寸由纯PMN的5nm提高到22nm.
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铌镁酸铅-钛酸铅陶瓷介电与压电性能的研究
陈辛尘,王评初,潘晓明,霍翠凤,殷之文
2000 Vol. 15 (1): 109113
摘要(
2110 )
PDF(276KB)(
1003
)
用二步合成法制备了(1-x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-xPbTiO3原料,并制成了纯钙钛矿结构压电陶瓷.研究了三方-四方相界附近组份(x=0.25~0.40)及工艺与性能的关系.结果表明,在x=0.32~0.35间材料具有较大的介电常数,压电常数,耦合系数以及较低的品质因数.材料以1200℃附近保温150min为佳.材料性能表明,有希望成为新型压电陶瓷.
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卤化银多晶红外光纤显微结构与相关性能的研究
张议,高建平,卞蓓亚,沈菊云
2000 Vol. 15 (1): 114118
摘要(
1950 )
PDF(421KB)(
824
)
借助TEM、XRD、硬度微观测量等方法,研究了卤化银多晶红外光纤的显微结构与相关性能的关系.发现光纤是以AgClxBr1-x。多晶体为主骨架,纳米晶粒Ag镶嵌其中.由纳米晶粒带来的损耗光纤的散射损耗增加很小,即ANλ-4通过控制光纤的制备工艺条件,可以改变光纤的晶粒大小和光纤硬度.
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卤化银多晶光纤传输CO2激光性能的研究
高建平,卞蓓亚,陈惠民,武忠仁
2000 Vol. 15 (1): 119123
摘要(
1972 )
PDF(295KB)(
1091
)
通过采用高真空熔炼、反应气氛下区域融熔和高真空石英安瓿内单晶生长等特殊工艺方法对卤化银原料进行提纯,并用热挤压成型方法制得卤化银光纤.本文研究了卤化银原料的提纯和光纤成型工艺对损耗的影响,研究结果表明,增加提纯次数可降低卤化银光纤预制棒的吸收系数.通过合理控制工艺参数,提纯后的卤化银原料制成的光纤预制棒,经CO2激光量热计法测量在10.6μm处的吸收系数<5×10-4cm-1,热挤压成型的光纤在10.6μm处的损耗为0.3~0.5dB/m,直径φ10mm、长度1.64m的光纤可传输CO2激光功率>20W.
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Cellulose吸附法制备氧化物粉体的机理研究
邵宗平,熊国兴,杨维慎
2000 Vol. 15 (1): 124130
摘要(
1789 )
PDF(307KB)(
803
)
应用TG、DTA、IR、XRD和CO2-TPD等技术对用。cellulose吸附法合成La0.8Sr0.2CoO3(LSCO)粉体的过程机理进行了研究.发现在制备过程中cellulose首先起着一种金属离子吸附剂的作用.在焙烧的前期阶段,cellulose先被部分氧化而在其骨架上出现了羧酸基团,并与金属离子发生螫合形成螯合离子.优化条件下,在低温合成了纯相LSCO粉体.然而若焙烧过程中产生的CO2不能及时地排出,会导致体相中碳酸盐的形成,从而需要高于800℃的再焙烧才能获得纯相的LSCO粉体.
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硅基β-SiC薄膜外延生长的温度依赖关系研究
贾护军,杨银堂,朱作云,李跃进
2000 Vol. 15 (1): 131136
摘要(
1981 )
PDF(439KB)(
1432
)
采用常压化学气相淀积(APCVD)工艺在1000~1400℃温度范围内的(100)Si衬底上进行了β-SiC薄膜的异质外延生长.实验结果表明,随着淀积温度的升高,外延层由多晶硅向β-SiC单晶转变,结晶情况变好;但同时单晶生长速率却反而有所下降.
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碳化硼涂层显微结构和性能研究
曾毅,冯景伟,张叶方,丁传贤
2000 Vol. 15 (1): 137142
摘要(
2542 )
PDF(426KB)(
32068
)
本文研究了碳化硼等离子喷涂涂层的显微结构和电导率.发现涂层中存在多种显微结构,颗粒状和板状的碳化硼相为主相;涂层中金属Fe杂质相的存在是涂层电导率出现异常的决定因素;碳化硼涂层中还发现了由B、O和Fe三种元素组成的杂质相,其显微硬度比碳化硼低,这是碳化硼涂层显微硬度同碳化硼陶瓷相比要低的一个重要原因.
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铌合金硅化物涂层的结构及高温抗氧化性
王禹,郜嘉平,李云鹏,胡行方
2000 Vol. 15 (1): 143149
摘要(
2059 )
PDF(789KB)(
1089
)
分析了C-103铌合金不同改性成分的Ti-Cr-Si硅化物涂层在氧化前后组织结构的变化,以及改性成分和涂层结构对高温抗氧化性的影响,结果表明,Ge、Mo和W改性的涂层结构不利于高温抗氧化性能的改善,添加Zr和Al后,其涂层组织结构有利干提高高温抗氧化性.
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表面改性对氮化硅浆料固含量的影响
刘学建,黄莉萍,古宏晨,张兆泉,符锡仁
2000 Vol. 15 (1): 150154
摘要(
2255 )
PDF(298KB)(
1044
)
本文通过酸洗工艺对Si3N4粉体进行了表面改性,并研究了表面改性对粉体胶体特性及其浆料流动性的影响.结果表明:酸洗处理之后悬浮粒子的等电点升高,XPS表面分析表明这是粉体表面氧化程度降低的缘故.而且,由于酸洗处理有效地提高了粒子的Zeta电位,因而浆料的流动性明显得到改善,其最高固含量也由50vol.%提高到55vol.%,并制备出了固含量为53vol.%的、适于浇注的Si3N4浆料.
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共沉淀法制备YAG-Al2O3纳米复合粉体
李炜群,高濂,王宏志,归林华
2000 Vol. 15 (1): 155158
摘要(
1937 )
PDF(299KB)(
1018
)
本文采用共沉淀法制备了YAG-Al2O3纳米复合粉体.并通过XRD、TEM详细研究了粉体组成、形貌随煅烧温度的变化.研究表明,在1300℃下煅烧可获得YAG粒径约100nm、分散均匀、无杂相的YAG-Al2O3纳米复合粉体.粉体在1450℃可热压烧结致密,远低于文献报道的热压烧结温度1600℃.用共沉淀法制备YAG-Al2O3纳米复合粉体具有成本低、产量高和工艺简单的优点.
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磁场对KNbO3熔体中温度分布影响的实验研究
梁歆桉,金蔚青,潘志雷,刘照华
2000 Vol. 15 (1): 159162
摘要(
2076 )
PDF(270KB)(
930
)
研究了磁场对KNbO3熔体中的温度分布的影响.利用加磁场的休仑微分干涉显微实时观察装置及一种近似的间接测温方法,对在不同磁场强度0、70、117、135mT下,KNbO3熔体中的径向温度分布进行测量.发现随着磁场强度的增大,熔体中的径向温度梯度减小,尤其在坩埚-熔体界面附近,浮力驱动对流占主要作用的区域,温度梯度的减小更加明显.这可能是由于磁场对熔体中浮力驱动对流抑制的结果.
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晶格常数的变化对钛酸铝热稳定性的影响
江伟辉,肖兴成,周健儿,马光华,顾幸勇,胡行方
2000 Vol. 15 (1): 163168
摘要(
2568 )
PDF(347KB)(
1360
)
深入研究了晶格常数的变化和钛酸铝热稳定性的关系.通过仔细分析钛酸铝的晶格常数随温度变化的特点,发现钛酸铝的晶格常数C随温度升高而降低这一反常现象.提出了钛酸铝的稳定性与其晶格常数C的大小密切相关的论点.在钛酸铝中引入多种添加剂以改变其晶格常数.结果发现晶格常数C的大小反映了钛酸铝的稳定性.晶格常数C越大,钛酸铝就越稳定.钛酸铝稳定性提高的原因是:晶格常数c对应于钛酸铝晶体结构中畸变的[MeO6]八面体的高度,C值增大导致八面体的畸变程度降低,结果就使得钛酸铝更稳定.还研究了不同烧成工艺对钛酸铝的晶格常数和稳定性的影响,结果发现:随着烧成温度的提高和保温时间的延长,钛酸铝的晶格常数C增大,其稳定性也相应提高.
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非均相沉淀法制备Al2O3-YAG复相陶瓷
王宏志,高濂,李炜群
2000 Vol. 15 (1): 169173
摘要(
2058 )
PDF(437KB)(
1000
)
本文测量了YAG粉体的ξ电位,通过调节pH值获得均匀分散的YAG水悬浮液.采用非均相沉淀方法获得YAG分布均匀的Al2O3-YAG复合粉体.通过热压烧结得到致密烧结体,YAG的加入对烧结温度的影响不大.Al2O3-5vol%YAG复相陶瓷的抗弯强度为485MPa,断裂韧性为4.2MPa·m1/2,均高于单相Al2O3陶瓷,数据的重复性好于球磨混合所制备的样品.通过TEM观察,YAG颗粒均匀分布于整个样品中,表明通过非均相沉淀制粉可以获得YAG颗粒分布均匀的Al2O3-YAG复相陶瓷.
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AIN-多型体对形成长颗粒α-Sialon的影响
陈卫武,孙维莹,严东生
2000 Vol. 15 (1): 174178
摘要(
1815 )
PDF(369KB)(
792
)
通过SEM、EDS等方法,研究了添加不同含量AIN-多型体对(Y+Sm)-α-Sialon晶粒形貌的影响.结果表明,随AIN-多型体添加量增多,材料中长颗粒α-Sialon的数量增加.本文对a’-AIN-多型体两相区内长颗粒α-Sialon的形成机理进行了讨论.
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非晶金刚石薄膜的拉曼光谱研究
陈弟虎,魏爱香,周友国,范家海,杨增红,彭少麒
2000 Vol. 15 (1): 179182
摘要(
2127 )
PDF(230KB)(
1154
)
碳离子的能量是影响非晶金刚石薄膜结构和性质最关键的工艺参数.采用磁过滤真空溅射离子技术,研究不同衬底偏压Vb(即不同碳离子能量)下制备的非晶金刚石薄膜的拉曼光谱和表面形貌.结果表明:-50V≤Vb≤-10V时,样品表面均匀、光滑,拉曼谱是对称且很宽的散射带;Vb>-10V或Vb<-50V时,已有晶团出现,表面粗糙度明显增加,拉曼谱明显地分裂为1580cm-1的G带和1350cm-1的D带.
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工艺参数对a-CNx膜沉积的影响
肖兴成,江伟辉,宋力昕,田静芬,胡行方
2000 Vol. 15 (1): 183187
摘要(
1792 )
PDF(263KB)(
881
)
研究了基本工艺参数对磁控溅射制备无定形氮化碳(a-CNx)薄膜沉积的影响.实验结果表明:N2流量的增加提高了膜的沉积速率,同时提高了膜中氮含量.溅射功率的提高增加了沉积速率.偏压对硬质膜的制备是一关键的工艺参数,它不仅使薄膜致密、表面光滑,而且还可以提高膜中的N含量.
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ITO薄膜的光电子能谱分析
陈猛,裴志亮,白雪冬,黄荣芳,闻立时
2000 Vol. 15 (1): 188192
摘要(
1796 )
PDF(283KB)(
855
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运用XPS分析了ITO薄膜真空退火前后各元素化学状态的变化情况.研究表明,低温直流磁控反应溅射ITO薄膜退火前后Sn和In处于各自相同的化学状态中.O以两种化合状态OI和OII存在,其结合能值分别为529.90±0.30eV和531.40±0.20eV,分别对应着氧充足和氧缺乏状态.两者面积之比RoI/oII从薄膜表面到体内逐渐增大.退火后薄膜表面的RoI/oII小于未退火薄膜表面的RoI/oII;经Ar+刻蚀20min后,退火薄膜体内的RoI/oII大于未退火薄膜体内的RoI/oII.这些结果表明,ITO薄膜中氧缺位状态主要分布在薄膜表层.
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