流态床CVD法纳米氮化硅粉体的制备

无机材料学报

流态床CVD法纳米氮化硅粉体的制备

王勇¹, 沃银花², 姚奎鸿1, 祝洪良¹, 王耐艳¹

1. 浙江理工大学, 杭州 310018; 2. 浙江大学, 杭州 310027

收稿日期:2004-12-20 修回日期:2005-04-11 出版日期:2006-01-20 网络出版日期:2006-01-20

CVD Synthesis of Silicon Nitride (SiN) Nanopowders in a Novel Two-stage Fluidized Bed Reactor

WANG Yong¹, WO Yin-Hua², YAO Kui-Hong¹, ZHU Hong-Liang¹, WANG Nai-Yan¹

1. Zhejiang Sci-Tech University, Hangzhou 310018, China; 2. Zhejiang University, Hangzhou 310027, China

Received:2004-12-20 Revised:2005-04-11 Published:2006-01-20 Online:2006-01-20

摘要/Abstract

摘要： 采用硅烷和氨气在立式双温区流态床中化学气相沉积, 制备了形状规则的球状无定形氮化硅纳米粉体, 并利用X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)和傅立叶红外(FTIR)研究了该纳米粉体的
形貌、成分和物相. 讨论了该流态床法制备纳米氮化硅的关键因素, 并得到流态床中制备氮化硅纳米粉体的优化工艺参数.

关键词: 氮化硅(SiN), 硅烷, 流态床, 化学气相沉积(CVD)

Abstract: Chemical vapor deposition (CVD) using silane and ammonia as reactants was employed to prepare SiN nanopowders in a novel two-stage fluidized bed reactor. The product was characterized by means
of X-ray diffraction, transmission electron microscope and Fourier transform infrared spectroscope. Furthermore, optimal processing parameters were presented, and the critical factors for CVD synthesis
of SiN nanopowders in the fluidized bed were discussed. The results show that the product is an amorphous silicon nitride with sphere nanomorphology. The synthesis route is promising for scale-up
preparation of SiN nanopowders.

Key words: silicon nitride (SiN), silane, fluidized bed, chemical vapor deposition (CVD)

中图分类号:

TQ174

王勇,沃银花,姚奎鸿1,祝洪良,王耐艳. 流态床CVD法纳米氮化硅粉体的制备[J]. 无机材料学报.

WANG Yong,WO Yin-Hua,YAO Kui-Hong,ZHU Hong-Liang,WANG Nai-Yan. CVD Synthesis of Silicon Nitride (SiN) Nanopowders in a Novel Two-stage Fluidized Bed Reactor[J]. Journal of Inorganic Materials.

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