Sol-Gel法制备BaxSr1-xTiO3铁电薄膜化学机制的探讨

无机材料学报

Sol-Gel法制备Ba_xSr_1-xTiO₃铁电薄膜化学机制的探讨

金承钰¹; 丁永平²; 孟中岩¹

1. 上海大学无机材料系, 上海 201800; 2. 上海交通大学, 上海 200030

收稿日期:1999-05-14 修回日期:1999-06-28 出版日期:2000-04-20 网络出版日期:2000-04-20

Studies on the Chemical Mechanism of Ba_xSr_l-xTiO₃ Ferroelectric Thin Films by Sol-Gel Method

JIN Cheng-Yu¹; DING Yong-Ping²; MENG Zhong-Yan ¹

l. Department of Material Science; Shanghai University; Shanghai 201800; Chinal 2. Department of Material Science; Shanghai Jiaotong University; Shanghai 200030; China

Received:1999-05-14 Revised:1999-06-28 Published:2000-04-20 Online:2000-04-20

摘要/Abstract

摘要： 用ＦＴＩＲ分析，结合ＤＳＣ、ＸＲＤ、ＡＦＭ实验结果，展示了ｓｏｌ－ｇｅｌ法制备Ｂａ_ｘＳｒ_１－ｘＴｉＯ_３（ＢＳＴ）薄膜热演化过程的化学机制．研究表明：螯合剂ＨＡＣＡＣ的引入减缓钛醇盐水解速率、改善晶化途径、降低结晶起始温度，从而制得了晶化完善、致密无裂纹的ＢＳＴ薄膜．

关键词: BST薄膜, sol-gel工艺, FTIR, DSC, XRD, AFM

Abstract: FTIR analysis combined with DSC, XRD and AFM experiments was used to study on the chemical mechanism of thermal evolution for Ba_xSr_1-xTiO₃ (BST) thin films derived by sol-gel method. Acetylacetone(HAcAc) was introduced as a chelating agent to reduce a rapid hydrolysis rate of Ti-alkoxide, to improve its crystallization path, to decrease its crystallization temperature. And then the densified and crack-free BST thin films with better crystallization were fabricated.

Key words: BST thin films, sol-gel method, FTIR, DSC, XRD, AFM

中图分类号:

O484

金承钰,丁永平,孟中岩. Sol-Gel法制备Ba_xSr_1-xTiO₃铁电薄膜化学机制的探讨[J]. 无机材料学报.

JIN Cheng-Yu,DING Yong-Ping,MENG Zhong-Yan. Studies on the Chemical Mechanism of Ba_xSr_l-xTiO₃ Ferroelectric Thin Films by Sol-Gel Method[J]. Journal of Inorganic Materials.

[1]	张广心, 董雄波, 郑水林. 纳米TiO₂/硅藻土复合材料光催化降解作用研究[J]. 无机材料学报, 2016, 31(4): 407-412.
[2]	鄢晓晖, 王胜男, 杜博, 王小祥. 淡水三角帆蚌贝壳珍珠质的同步辐射XRD研究[J]. 无机材料学报, 2012, 27(5): 524-528.
[3]	丁建旭, 王圣来, 牟晓明, 于光伟, 许心光, 孙云, 刘文洁. KDP晶体(100)面生长台阶聚并现象的AFM研究[J]. 无机材料学报, 2010, 25(11): 1191-1194.
[4]	何知宇, 赵北君, 朱世富, 陈宝军, 李佳伟, 张熠, 杜文娟. CdGeAs₂多晶合成与单晶生长研究[J]. 无机材料学报, 2010, 25(11): 1195-1198.
[5]	张卫华,袁媛,石春梅,赵高扬. 直接感光法制备钛酸锶钡图形化薄膜及其性能研究[J]. 无机材料学报, 2008, 23(5): 886-890.
[6]	潘瑞琨,王军,董秀梅,章天金,胡兰,江娟. 掺Ho³⁺钛酸锶钡薄膜的结构及发光性能研究[J]. 无机材料学报, 2008, 23(5): 902-906.
[7]	孙广,吴庆华1,胡前库,于栋利. 化学还原法制备六方B-C-N化合物[J]. 无机材料学报, 2008, 23(5): 1067-1069.
[8]	程国峰,杨传铮,黄月鸿. 密堆六方纳米ZnO的X射线衍射表征与研究[J]. 无机材料学报, 2008, 23(1): 199-202.
[9]	周歧刚,翟继卫,姚熹. Mn-Mg共掺杂对钛酸锶钡薄膜介电性能的影响[J]. 无机材料学报, 2007, 22(3): 519-523.
[10]	路朋献,朱满康,侯育冬,宋雪梅,汪浩,严辉. 铁掺杂0.2PZN-0.8PZT铁电陶瓷Raman散射研究[J]. 无机材料学报, 2006, 21(3): 633-639.
[11]	闫宗兰,林霞,罗建海,谢冠群,罗孟飞. Ce_xPr_1-xO_2-δ复合氧化物的制备、表征及CO和CH₄氧化性能研究[J]. 无机材料学报, 2005, 20(3): 653-658.
[12]	左霞,王智民1,刘静波,张艳熹,韦永德. 锂修饰钙掺杂钛酸铅纳米薄膜的显微结构与湿敏机理[J]. 无机材料学报, 2005, 20(1): 158-162.
[13]	张广军, 顾冬红, 李青会, 干福熹,刘音诗. 新型AgInSbTe相变薄膜的结晶活化能研究[J]. 无机材料学报, 2005, 20(1): 230-234.
[14]	王智民,李丽,韩基新,李永战,韩维屏. 五种二元过渡金属氧化物界面上的相互作用、非晶相结构及催化性能(Ⅱ)—DSC、半导体气敏特性、催化活性与亚单层分散模[J]. 无机材料学报, 2003, 18(3): 653-660.
[15]	王智民,李丽,韩基新,韩维. 五种二元过渡金属氧化物界面上的相互作用、非晶相结构及催化性能(Ⅰ) 界面非晶相分散作用及体相晶相剩余率的提出[J]. 无机材料学报, 2003, 18(2): 385-392.

Sol-Gel法制备Ba_xSr_1-xTiO₃铁电薄膜化学机制的探讨

Studies on the Chemical Mechanism of Ba_xSr_l-xTiO₃ Ferroelectric Thin Films by Sol-Gel Method

PDF (PC)

可视化

摘要/Abstract

引用本文

使用本文

参考文献

相关文章 15

编辑推荐

Metrics

本文评价