热解条件对热解碳沉积模式和形貌的影响

无机材料学报

热解条件对热解碳沉积模式和形貌的影响

尹洪峰; 徐永东; 张立同

西北工业大学凝固技术国家重点实验室, 西安 710072

收稿日期:1998-11-02 修回日期:1999-01-11 出版日期:1999-10-20 网络出版日期:1999-10-20

Effect of Deposition Condition on Deposition Mode and Morphology of Pyrolytic Carbon

YIN Hong-Feng; XU Yong-Dong; ZHANG Li-Tong

State Key Laborutory of Solidification Processing; Northwest Polytechnical University Xi an 710072 China

Received:1998-11-02 Revised:1999-01-11 Published:1999-10-20 Online:1999-10-20

摘要/Abstract

摘要： 以丙烯为源物质氩气为稀释气体，研究了沉积温度、丙烯流量、系统总压对沉积物形貌的影响．利用晶体成核－生长理论解释了各种形貌的成因．实验证明随着沉积温度的升高、系统总压的增大，热解碳的沉积由表面化学反应成核－生长模式向熔滴模式和气相成核－生长模式过渡．沉积温度不同丙烯流量对沉积模式影响规律不同．沉积模式随沉积条件的改变决定了热解碳沉积物形貌的改变．

关键词: 热解碳, 沉积条件, 沉积模式, 丙烯

Abstract: The effects of deposition tempertature,flow of C₃H₆, total pressure on the morphology of deposits were studied with C₃H₆
as source material, Ar as dilute gas. Three kinds of morphology were accounted by using the principle of the nuclei-growth of crystal. It was showed that
the deposition mode of pyrolytic carbon changes from surfacial nuclie-growth mode to droplet mode and gasous nuclie-borne mode as increasing deposition
temperature and total pressure. The effect of flow of C₃H₆ on deposition mode underlies different principle under different deposition
temperatures. The change of the morphology of pyrolytic carbon can be determined by the changes of deposition mode of pyrolytic carbon with
deposition condition.

Key words: pyrolytic carbon, deposition condition, deposition mode, morphology

中图分类号:

TQ127

尹洪峰,徐永东,张立同. 热解条件对热解碳沉积模式和形貌的影响[J]. 无机材料学报.

YIN Hong-Feng,XU Yong-Dong,ZHANG Li-Tong. Effect of Deposition Condition on Deposition Mode and Morphology of Pyrolytic Carbon[J]. Journal of Inorganic Materials.

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