PZT系多层片式压电陶瓷微驱动器位移性能研究

无机材料学报

PZT系多层片式压电陶瓷微驱动器位移性能研究

李国荣; 陈大任; 殷庆瑞

中国科学院上海硅酸盐研究所; 上海 200050

收稿日期:1998-07-10 修回日期:1998-08-24 出版日期:1999-06-20 网络出版日期:1999-06-20

Displacement Characterization of the PZT-based Monolithic Multilayer Piezoelectric Actuators

LI Guo-Rong; CHEN Da-Ren; YIN Qing-Rui

Laborotory of Functional Inorganic Materials; Shanghai Institute of Ceramics; Chinese Academy of Science Shanghai 200050 China

Received:1998-07-10 Revised:1998-08-24 Published:1999-06-20 Online:1999-06-20

摘要/Abstract

摘要： 采用陶瓷坯膜流延成型和陶瓷坯膜／金属内电极共烧技术，制作了多层片式高含铅PZT软性压电陶瓷微驱动器．该器件具有体积小、工作电压低、位移量大（38V，1.05μm）的特点．本文对制作的多层片式器件在直流和单向交流工作电压的作用下产生的静态和动态位移特性，从PZT压电陶瓷材料的晶体和电畴结构特点进行了分析和研究．

关键词: 流延, 多层片式压电陶瓷微驱动器, 位移

Abstract: The PZT-based monolithic multilayer piezoelectric actuator (35 layers of piezo-ceramic, one layer 47μm thick) was fabricated by the tape-casting and the ceramic/internal-electrode cofiring method. The actuator shows large displacement under a low voltage (about 1μm displacement under 38V voltage). The static and dynamic displacement characterizations of the PZT-based actuator was discussed on the basis of its lattice structure and domain behaviors.

Key words: tape-casting, PZT-based monolithic multilayer piezoelectric actuator, displacement

中图分类号:

TN304

李国荣,陈大任,殷庆瑞. PZT系多层片式压电陶瓷微驱动器位移性能研究[J]. 无机材料学报.

LI Guo-Rong,CHEN Da-Ren,YIN Qing-Rui. Displacement Characterization of the PZT-based Monolithic Multilayer Piezoelectric Actuators[J]. Journal of Inorganic Materials.

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