Ge-Sb-Te-O相变薄膜的结晶动力学研究

无机材料学报

Ge-Sb-Te-O相变薄膜的结晶动力学研究

顾四朋; 侯立松

中国科学院上海光学精密机械研究所上海 201800

收稿日期:2001-10-29 修回日期:2001-12-26 出版日期:2002-11-20 网络出版日期:2002-11-20

Crystallization Kinetics of Ge-Sb-Te-O Phase-Change Thin Films

GU Si-Peng; HOU Li-Song

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics; Chinese Academy of Sciences; Shanghai 201800; China

Received:2001-10-29 Revised:2001-12-26 Published:2002-11-20 Online:2002-11-20

摘要/Abstract

摘要： 用磁控溅射法制备了Ge-Sb-Te和Ge-Sb-Te-O相变材料薄膜,由热处理前后薄膜的X射线衍射(XRD)发现,热处理使薄膜发生了从非晶态到晶态的相变.通过非晶态薄膜粉末的示差扫描量热(DSC)实验测出不同加热速率条件下的结晶峰温度,并计算了材料的摩尔结晶活化能、原子激活能和频率因子.根据结晶动力学结晶活化能E判据得出结论为:与Ge-Sb-Te相比,掺杂氧后的Ge-Sb-Te更容易析晶,具有更快的结晶速率.

关键词: Ge-Sb-Te相变薄膜, 氧掺杂, XRD, DSC, 结晶动力学

Abstract: Ge-Sb-Te and Ge-Sb-Te-O thin films were prepared by RF-sputtering. XRD spectra of the films in
as-deposited and heat-treated states show that the films changed from amorphous to crystalline states due to heat-treatment. By using DSC data
of the amorphous film materials, measuring the peak temperature of crystallization at different heating rates, the activation energies
and frequency factors were calculated. The experimental results show that sample Ge-Sb-Te-O has a higher value of activation energy than sample Ge-Sb-Te, so
oxygen-doping can improve the crystallization rate of Ge-Sb-Te phase-change material.

Key words: Ge-Sb-Te phase-change films, oxygen-doping, XRD, DSC, crystallization kinetics

中图分类号:

O795

顾四朋,侯立松. Ge-Sb-Te-O相变薄膜的结晶动力学研究[J]. 无机材料学报.

GU Si-Peng,HOU Li-Song. Crystallization Kinetics of Ge-Sb-Te-O Phase-Change Thin Films[J]. Journal of Inorganic Materials.

[1]	张广心, 董雄波, 郑水林. 纳米TiO₂/硅藻土复合材料光催化降解作用研究[J]. 无机材料学报, 2016, 31(4): 407-412.
[2]	鄢晓晖, 王胜男, 杜博, 王小祥. 淡水三角帆蚌贝壳珍珠质的同步辐射XRD研究[J]. 无机材料学报, 2012, 27(5): 524-528.
[3]	何知宇, 赵北君, 朱世富, 陈宝军, 李佳伟, 张熠, 杜文娟. CdGeAs₂多晶合成与单晶生长研究[J]. 无机材料学报, 2010, 25(11): 1195-1198.
[4]	孙广,吴庆华1,胡前库,于栋利. 化学还原法制备六方B-C-N化合物[J]. 无机材料学报, 2008, 23(5): 1067-1069.
[5]	程国峰,杨传铮,黄月鸿. 密堆六方纳米ZnO的X射线衍射表征与研究[J]. 无机材料学报, 2008, 23(1): 199-202.
[6]	路朋献,朱满康,侯育冬,宋雪梅,汪浩,严辉. 铁掺杂0.2PZN-0.8PZT铁电陶瓷Raman散射研究[J]. 无机材料学报, 2006, 21(3): 633-639.
[7]	闫宗兰,林霞,罗建海,谢冠群,罗孟飞. Ce_xPr_1-xO_2-δ复合氧化物的制备、表征及CO和CH₄氧化性能研究[J]. 无机材料学报, 2005, 20(3): 653-658.
[8]	张广军, 顾冬红, 李青会, 干福熹,刘音诗. 新型AgInSbTe相变薄膜的结晶活化能研究[J]. 无机材料学报, 2005, 20(1): 230-234.
[9]	王智民,李丽,韩基新,李永战,韩维屏. 五种二元过渡金属氧化物界面上的相互作用、非晶相结构及催化性能(Ⅱ)—DSC、半导体气敏特性、催化活性与亚单层分散模[J]. 无机材料学报, 2003, 18(3): 653-660.
[10]	王智民,李丽,韩基新,韩维. 五种二元过渡金属氧化物界面上的相互作用、非晶相结构及催化性能(Ⅰ) 界面非晶相分散作用及体相晶相剩余率的提出[J]. 无机材料学报, 2003, 18(2): 385-392.
[11]	张福勤,黄启忠,黄伯云,巩前明,陈腾飞,熊翔. C/C复合材料石墨化度的喇曼光谱表征[J]. 无机材料学报, 2003, 18(2): 361-366.
[12]	黄清伟,王佩玲,严东生,程一兵. Sr_0.4Ba_0.6Nb₂O₆物相形成过程的XRD分析[J]. 无机材料学报, 2002, 17(4): 841-844.
[13]	董言治,贾翠英,安永林,于永鲜,王德和. 硫代钨酸盐晶体的低温溶剂热合成及表征[J]. 无机材料学报, 2002, 17(3): 605-608.
[14]	迟玉山,沈菊云,陈学贤. 硬盘基板用微晶玻璃的析晶过程研究[J]. 无机材料学报, 2001, 16(5): 791-796.
[15]	靳喜海,高濂,郭景坤. 溶胶-凝胶法制备莫来石粉体[J]. 无机材料学报, 2001, 16(3): 555-558.