磁控溅射制备纳米TiO<SUB>2</SUB>薄膜导电性的研究

磁控溅射制备纳米TiO₂薄膜导电性的研究

顾广瑞,李英爱,陶艳春,何志,赵永年

Conductivity of Magnetron-sputtered Nanometer TiO₂ Thin Films

GU Guang-Rui,LI Ying-Ai,TAO Yan-Chun,HE Zhi,ZHAO Yong-Nian

无机材料学报 . 2003, (6): 1381 -1384 .