热管理用3英寸硅衬底金刚石薄膜的制备
杨志亮, 杨鏊, 刘鹏, 陈良贤, 安康, 魏俊俊, 刘金龙, 吴立枢, 李成明
Preparation of 3-inch Diamond Film on Silicon Substrate for Thermal Management
YANG Zhiliang, YANG Ao, LIU Peng, CHEN Liangxian, AN Kang, WEI Junjun, LIU Jinlong, WU Lishu, LI Chengming
无机材料学报
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2024, (3): 283
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DOI: 10.15541/jim20230476
