原子层沉积生长速率的控制研究进展

原子层沉积生长速率的控制研究进展

卢维尔, 董亚斌, 李超波, 夏洋, 李楠

Research Progress on Growth Rate Controlling of Atomic Layer Deposition

LU Wei-Er, DONG Ya-Bin, LI Chao-Bo, XIA Yang, LI Nan

无机材料学报 . 2014, (4): 345 -351 . DOI: 10.3724/SP.J.1077.2014.13449