新型相变材料Ti0.5Sb2Te3刻蚀工艺及其机理研究
张 徐, 刘 波, 宋三年, 姚栋宁, 朱 敏, 饶 峰, 吴良才, 宋志棠, 封松林
Study on Etching Process and Mechanism of New Phase Change Material Ti0.5Sb2Te3
ZHANG Xu, LIU Bo, SONG San-Nian, YAO Dong-Ning, ZHU Min, RAO Feng, WU Liang-Cai, SONG Zhi-Tang, FENG Song-Lin
无机材料学报
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2013, (12): 1364
-1368
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DOI: 10.3724/SP.J.1077.2013.13210
