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无机材料学报
4H-SiC高速同质外延研究
朱明星, 石 彪, 陈 义, 刘学超, 施尔畏
High-speed Homoepitaxial Growth of 4H-SiC
ZHU Ming-Xing, SHI Biao, CHEN Yi, LIU Xue-Chao, SHI Er-Wei
无机材料学报 . 2012, (8): 785 -789 .  DOI: 10.3724/SP.J.1077.2012.11577