HfO2栅介质薄膜的结构和介电性质研究
程学瑞1, 戚泽明2, 3, 张国斌2, 3, 李亭亭2, 3, 贺 博2, 3, 尹 民1
Structure and Dielectric Properties of HfO2 Thin Films
CHENG Xue-Rui-1, QI Ze-Ming-2, 3 , ZHANG Guo-Bin-2, 3 , LI Ting-Ting-2, 3 , HE Bo-2, 3 , YIN Min-1
无机材料学报
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2010, (5): 468
-472
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DOI: 10.3724/SP.J.1077.2010.00468
