离子注入对纳米Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB>结构的影响

离子注入对纳米Si₃N₄结构的影响

涂鲜花,李道火,赵华珍,詹明生

Effects of Ion Implantation on the Structure of Nano-Si₃N₄

TU Xian-Hua,LI Dao-Huo,ZHAO Hua-Zhen,ZHAN Ming-Sheng

无机材料学报 . 2001, (2): 369 -372 .