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无机材料学报
在室温条件下制备高质量纳米结构TiN薄膜研究
闫鹏勋,吴志国,徐建伟,张玉娟,张伟伟,刘伟民
Deposition of High Quality TiN Thin Films with Nano-structure
YAN Peng-Xun,WU Zhi-Guo,XU Jian-Wei,ZHANG Yu-Juan,ZHANG Wei-Wei,LIU Wei-Min
无机材料学报 . 2004, (6): 1386 -1390 .