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无机材料学报
用于X射线光刻掩模的纳米金刚石膜成核研究
李东辉,刘志凌,叶甜春,陈大鹏,吕反修
Nucleation of Nano-Diamond Films for X-Ray Mask Substrates
LI Dong-Hui,LIU Zhi-Ling,YE Tian-Chun,CHEN Da-Peng,LU Fan-Xiu
无机材料学报 . 2004, (4): 887 -894 .