高介电常数的栅极电介质LaAlO<SUB>3</SUB>薄膜的性能研究

高介电常数的栅极电介质LaAlO₃薄膜的性能研究

王东生,于涛,游彪,夏奕东,胡安,刘治国

Properties of High-k Gate Dielectric LaAlO₃ Thin Films

WANG Dong-Sheng,YU Tao,YOU Biao,XIA Yi-Dong,HU An,LIU Zhi-Guo

无机材料学报 . 2003, (1): 229 -232 .