负性SiO<SUB>2</SUB>/ZrO<SUB>2</SUB>光敏凝胶薄膜上引入微结构的研究

负性SiO₂/ZrO₂光敏凝胶薄膜上引入微结构的研究

徐翔,周斌,刘春泽,沈军,吴广明

Microstructure Fabrication on Negative Tone SiO₂/ZrO₂ Gel Film

XU Xiang,ZHOU Bin,LIU Chun-Ze,SHEN Jun,WU Guang-Ming

无机材料学报 . 2006, (3): 753 -758 . DOI: 10.3724/SP.J.1077.2006.00753