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无机材料学报
复合抛光对 CVD金刚石薄膜表面光洁度的改进研究
苏青峰,夏义本,王林军,史伟民
Improvement Smoothness of CVD Diamond by Composite Polishing
SU Qing-Feng,XIA Yi-Ben,WANG Lin-Jun,SHI Wei-Min
无机材料学报 . 2006, (2): 499 -502 .  DOI: 10.3724/SP.J.1077.2006.00499