溶胶-凝胶SiO<sub>2</sub>减反膜的制备与光学性能研究

溶胶-凝胶SiO₂减反膜的制备与光学性能研究

沈斌, 张旭, 熊怀, 李海元, 谢兴龙

Preparation and Optical Properties of Sol-Gel SiO₂ Antireflective Films

SHEN Bin, ZHANG Xu, XIONG Huai, LI Haiyuan, XIE Xinglong

无机材料学报 . 2024, (5): 525 -530 . DOI: 10.15541/jim20230567