Si3N4/FePd/Si3N4薄膜的晶体结构和磁性能研究

周鑫, 马垒, 刘涛, 郭永斌, 王岛, 董培林

Crystal Structure and Magnetic Property of Si₃N₄/FePd/Si₃N₄ Thin Films

ZHOU Xin, MA Lei, LIU Tao, GUO Yong-Bin, WANG Dao, DONG Pei-Lin

无机材料学报 . 2018, (8): 909 -913 . DOI: 10.15541/jim20170520