面向VCSEL的Al0.98Ga0.02As薄膜湿法氧化的研究
林涛, 张天杰, 李晶晶, 郭恩民, 宁少欢, 段玉鹏, 林楠, 祁琼, 马骁宇
Wet Oxidation Process to Al0.98Ga0.02As Layer for the Vertical-Cavity-Surface-Emitting-Laser Fabrications
LIN Tao, ZHANG Tian-Jie, LI Jing-Jing, GUO En-Min, NING Shao-Huan, DUAN Yu-Peng, LIN Nan, QI Qiong, MA Xiao-Yu
无机材料学报
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2018, (3): 266
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DOI: 10.15541/jim20170130
