低温活化合成含硅氮氧化物材料研究进展

刘茜, 周真真

Progress in Activated-synthesis of Si-based Oxynitrides
Materials at Low Temperatures

LIU Qian, ZHOU Zhen-Zhen

无机材料学报 . 2018, (2): 129 -137 . DOI: 10.15541/jim20170401