AlN: Er薄膜在不同退火温度下应力诱导的微观结构演变
阳明明, 莫亚娟, 王晓丹, 曾雄辉, 刘雪华, 黄俊, 张纪才, 王建峰, 徐科
Stress Induced Microstructure Evolution of AlN: Er Film at Different Annealing Temperature
YANG Ming-Ming, MO Ya-Juan, WANG Xiao-Dan, ZENG Xiong-Hui, LIU Xue-Hua, HUANG Jun, ZHANG Ji-Cai, WANG Jian-Feng, XU Ke
无机材料学报
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2016, (3): 285
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DOI: 10.15541/jim20150399
