周期性梯度富硅SiNx薄膜的微结构与发光特性
陈小波, 杨 雯, 段良飞, 张力元, 杨培志
Microstructure and Luminous Property of Periodical Gradient Si-rich SiNx Thin Films
CHEN Xiao-Bo, YANG Wen, DUAN Liang-Fei, ZHANG Li-Yuan, YANG Pei-Zhi
无机材料学报
.
2014, (12): 1270
-1274
.
DOI: 10.15541/jim20140123
