射频磁控溅射制备层状Bi-Te薄膜及热电性能研究
张志伟, 王 瑶, 邓 元, 谭 明
Growth and Transport Properties of Layered Bismuth Telluride Thin Films via Radio Frequency Magnetron Sputtering
ZHANG Zhi-Wei, WANG Yao, DENG Yuan, TAN Ming
无机材料学报
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2011, (5): 555
-560
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DOI: 10.3724/SP.J.1077.2011.11030
