离子束增强沉积工艺参数对Cr-N膜层组织结构的影响
唐宾,刘道新,胡奈赛,何家文
Influence of IBED Testing Parameters on Cr N Coating Structure
TANG Bin,LIU Dao-Xin,HU Nai-Sai,HE Jia-Wen
无机材料学报 . 1999, (4): 593 -600 .