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无机材料学报
等离子体源离子渗氮合成硼碳氮薄膜的研究
雷明凯,袁力,张仲麟,马腾才
B-C-N Films Synthesized by Plasma Source Ion Nitriding
LEI Ming-Kai,YUAN Li-Jiang,ZHANG Zhong-Lin,MA Teng-Cai
无机材料学报 . 1999, (1): 189 -192 .