反应溅射NiCrO<SUB><EM>x</EM></SUB>薄膜过程及其光学性质的研究

反应溅射NiCrO_x薄膜过程及其光学性质的研究

曹韫真,胡行方

Reactive Sputtering NiCrO_x Thin Film Process and Its Optical Constants

CAO Yun-Zhen,HU Xing-Fang

无机材料学报 . 2000, (2): 304 -308 .