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无机材料学报
溅射工艺参数对PZT铁电薄膜相变过程的影响
曾晟,丁爱丽,仇萍荪,何夕云,罗维根
Effect of Sputtering Parameters on Phase Transformation of PZT Thin Films
ZENG Sheng,DING Al-Li,QIU Ping-Sun,HE Xi-Yun,LUO Wei-Gen
无机材料学报 . 1999, (1): 107 -113 .