超硬膜的研究进展

无机材料学报

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超硬膜的研究进展

肖兴成; 江伟辉; 宋力昕; 胡行方

中国科学院上海硅酸盐研究所, 上海 200050

收稿日期:1998-09-24 修回日期:1998-12-01 出版日期:1999-10-20 网络出版日期:1999-10-20

Recent Advances in Superhard Films

XIAO Xing-Cheng; JIANG Wei-Hui; SONG Li-Xin; HU Xing-Fang

Shanghai Institute of Ceramics; Chinese Academy of Sciences Shanghai 200050 China

Received:1998-09-24 Revised:1998-12-01 Published:1999-10-20 Online:1999-10-20

摘要/Abstract

摘要： 本文简要总结了近年来超硬膜研究领域中的一些最新进展，包括超硬膜硬度的理论研究和轻元素组成的超硬膜、纳米复合膜、纳米多层膜以及它们力学性能增强效应的理论解释．对超硬膜以后的发展趋势提出了自己的一些见解．

关键词: 超硬膜, 硬度, 力学性能增强效应

Abstract: The current achievements in superhard thin films were reviewed. Theoretical research on thehardness of superhard films was surveyed, followed by the discussion on the strengthening mechanisms in different superhard films such as those combined with light elements, nano-compositefilms and nano-multilayers. The perspective on the development of superhard films was also given.

Key words: superhard films, hardness strengthening effects

中图分类号:

O484

肖兴成,江伟辉,宋力昕,胡行方. 超硬膜的研究进展[J]. 无机材料学报.

XIAO Xing-Cheng,JIANG Wei-Hui,SONG Li-Xin,HU Xing-Fang. Recent Advances in Superhard Films[J]. Journal of Inorganic Materials.

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