CO在U
2
N
3+
x
O
y
薄膜表面反应特性研究
罗丽珠
1
, 陆雷
2
, 刘柯钊
1
, 赵东海
1
Surface Behaviors of U
2
N
3+
x
O
y
Films in CO Atmosphere
LUO Li-Zhu
1
, LU Lei
2
, LIU Ke-Zhao
1
, ZHAO Dong-Hai
1
图2 O1s谱随溅射时间的变化
Fig. 2 Spectra of O1s as function of sputtering time