PEALD原位掺杂制备纳米TiO<sub>2-</sub><italic><sub>x</sub></italic>N<italic><sub>x</sub></italic>光催化剂

PEALD原位掺杂制备纳米TiO_2-_xN_x光催化剂

饶志鹏, 万军, 冯嘉恒, 李超波, 夏洋

Preparation of Nano-scaled TiO_2-_xN_x Photocatalyst by PEALDin-situDoping

RAO Zhi-Peng, WAN Jun, FENG Jia-Heng, LI Chao-Bo, XIA Yang

图1 自制的PEALD系统结构图
Fig. 1 Structure drawing of home-made PEALD system