PEALD原位掺杂制备纳米TiO<sub>2-<em>x</em></sub>N<sub><em>x</em></sub>光催化剂

PEALD原位掺杂制备纳米TiO_2-xN_x光催化剂

饶志鹏, 万军, 冯嘉恒, 李超波, 夏洋

Preparation of Nano-scaled TiO_2-xN_xPhotocatalyst by PEALD in-situ Doping

RAO Zhi-Peng, WAN Jun, FENG Jia-Heng, LI Chao-Bo, XIA Yang

无机材料学报 . 2013, (7): 691 -695 . DOI: 10.3724/SP.J.1077.2013.12490