BCl<sub>3</sub>-NH<sub>3</sub>-H<sub>2</sub>-N<sub>2</sub>前驱体化学气相沉积法制备氮化硼涂层
无机材料学报
       ISSN: 1000-324X   CN 31-1363/TQ              设为首页        加入收藏
   RSS  Email Alert     
   
 
年期检索 关键词 高级搜索
33
无机材料学报  2018, Vol. 33 Issue (11): 1179-1185    DOI: 10.15541/jim20180021
研究论文 最新目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索  |   
BCl3-NH3-H2-N2前驱体化学气相沉积法制备氮化硼涂层
王梦千, 贾林涛, 李爱军, 彭雨晴, 张方舟
上海大学 材料科学与工程学院, 复合材料研究中心, 上海 200444
Preparation of Boron Nitride Coating from BCl3-NH3-H2-N2 Precursor by Chemical Vapor Deposition
WANG Meng-Qian, JIA Lin-Tao, LI Ai-Jun, PENG Yu-Qing, ZHANG Fang-Zhou
Research Center for Composite Materials, School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200444, China
版权所有 © 2012 《无机材料学报》编辑部
通信地址:上海市定西路1295号 邮政编码:200050 电 话:021-52411302
E-mail:wjclxb@mail.sic.ac.cn
沪ICP备10020520号
本系统由北京玛格泰克科技发展有限公司设计开发